溶融塩電解法によるCVD用無機フッ化物の合成に関する研究

熔盐电解法合成CVD用无机氟化物的研究

• 批准号: 61550606
• 负责人: 田坂 明政
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Doshisha University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 1988
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61550606/
• 关键词: 溶融フッ化物; 溶融塩電解; 電解フッ素化; 電流効率; タングステン酸アンモニウム; 六フッ化タングステン; モリブデン酸アンモニウム; 六フッ化モリブデン; フッ化タンタルアンモニウム塩; フッ化ニオブアンモニウム塩; CVD用無機フッ化物

今年度に行った研究によって得られた新たな知見、成果は次のとおりである。(1)溶融KF-HF-NH_4F系浴に(NH_4)_2WO_4を0.3mol%溶解させて調製した電解浴を120°Cで、炭素電極を用いて100時間以上電解したところ、NF_3が生成し、同時にO_2も同程度の量生成した。したがって添加物質が電解フッ素化されていることは明らかであったが、WF_6は遊離した形では得られなかった。(2)陽極生成ガスのみならず、陰極生成ガスの電流効率の経時変化を測定すると、いずれも約80%であり、電解初期には陽極生成ガスの電流効率が、電解後半では、陰極電流効率が上回った。(3)再度、陽極生成ガスおよび陰極生成ガスの電流効率の経時変化を求めたところ、70万クローン(200時間)通電後に両者は一致し、その値は約60%であった。(4)200時間電解を続けても、添加物質に含まれている酸素のわずか27.6%がフッ素に変換されたにすぎず、したがって、添加物質またはそれから生じた錯イオンはオキシフルオロ錯塩または錯イオンの形態で電解浴中に留まっているのであろう。(5)比較的短時間の電解で添加物中の酸素を除去し、完全フッ化物を生成するためには、陽極室と陰極室を隔膜で仕切る必要がある。(6)フッ素系樹脂でできたイオン交換膜(ナフィオン315、ナフィオン117など)は、膜抵抗が大きすぎるため、隔膜としては不適当である。(7)テフロン繊維製フィルター(ポリフロンフィルター)は、本系溶融塩電解浴中でも隔膜として十分使用できることがわかった。

This year, the に field of った research によって has obtained られた new たな insights and achievements に times とお とお である である. (1) melt KF - HF - department of NH_4F bath に (NH_4) _2WO_4 を 0.3 mol % dissolved さ せ て modulation し た electrolytic bath を で 120 ° C, carbon electrode を い て above 100 time electrolytic し た と こ ろ, NF_3 が generated し, at the same time に O_2 も の quantity generated the same extent し た. し た が っ て add material が electrolytic フ ッ element change さ れ て い る こ と は Ming ら か で あ っ た が, WF_6 は free し た form で は must ら れ な か っ た. (2) anode generated ガ ス の み な ら ず, cathode ガ ス の の current working rate variations change を to determine when 経 す る と, い ず れ も about 80% で あ り, electrolytic early に は anode generated ガ ス の が, electrolytic current working rate after half で は, cathode current working rate が last っ た. (3) again, anode generated ガ ス お よ び cathode to generate ガ ス の の current working rate variations change を when 経 め た と こ ろ, 700000 ク ロ ー ン (200) after electrify に struck consistent は し, そ の numerical は about 60% で あ っ た. (4), 200 time electrolytic を 続 け て も, adding material に ま れ て い る acid element の わ ず か 27.6% が フ ッ element に variations in さ れ た に す ぎ ず, し た が っ て, add material ま た は そ れ か ら raw じ た wrong イ オ ン は オ キ シ フ ル オ ロ wrong salt ま た は wrong イ オ ン の form で electrolytic bath に leave ま っ て い る の で あ ろ う. (5) the relative short time の electrolytic で additives を の acid in removing し, completely フ ッ compound を generated す る た め に は, anode chamber と cathode chamber を diaphragm で shi る necessary cutting が あ る. (6) フ ッ element of resin で で き た イ オ ン exchange membrane (ナ フ ィ オ ン 315, ナ フ ィ オ ン 117 な ど) は, membrane resistance が big き す ぎ る た め, diaphragm と し て は inappropriate で あ る. (7) テ フ ロ ン 繊 d system フ ィ ル タ ー (ポ リ フ ロ ン フ ィ ル タ ー) は, the department melt salt electrolytic bath で も diaphragm と し て very use で き る こ と が わ か っ た.