収束電子線回折法による半導体および機能性セラミックス材料の定量的評価

使用会聚电子衍射法定量评估半导体和功能陶瓷材料

• 批准号: 62550477
• 负责人: 友清 芳二
• 金额: $ 1.22万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62550477/
• 关键词: 収束電子線回折; 高次ラウエゾーン反射; 格子定数変化; 局所的格子歪

1.目的:収束電子線回折(CBED)図形の透過波円板内には高次ラウエゾーン(HOLZ)反射による線状コントラストが現われる. このHOLZ図形から材料の局所的格子定数を手軽に求める方法とその測定精度を実験と理論の両面から検討した. 分析型電子顕微鏡JEM-2000FXを用いて直径約10〜20nmの電子ビームをSi, Ge, GaAs, InP, GaSb等の半導体結晶に照射し, CBED図形を得た. 運動学的回折理論に基づくHOLZ図形のシミュレーションを行うとともに動力学的回折理論によるHOLZ線のプロフィールの計算を行った.2.結果:HOLZ図形は入射電子線の波長や格子定数の変化に非常に敏感で, HOLZ線の交差する位置やHOLZ線によってできる多角形の大きさや形の変化に着目すると, 逆に波長や格子定数の値を知ることができる. (1)実際に観察したHOLZ図形と, 既知の波長と格子定数をもとにシミュレートした図形とは必ずしもよく一致しなかった. (2)この不一致の程度は結晶の種類だけでなく, 加速電圧や電子線の入射方位にも依存していた. (3)この不一致は動力学的多波効果によるものである. (4)観察結果とシミュレーションとの比較によって手軽に格子定数を求めるには動力学的効果による影響をできる限り除去する必要がある. 最も簡便な方法は, 未知試料と同じ結晶構造をもち, しかも平均原子番号が未知試料のそれからあまり離れていないような試料を標準試料として用い, 加速電圧をあらかじめ効正しておくことである. 適当な加速電圧と入射方位を選べば局所領域の格子定数の絶対値を0.1%程度の精度で求めることができる. (5)HOLZ図形の変化から, 明視野像や暗視野像では観察困難な微小な格子歪も検出できる. この方法は, 今後, 微小析出物と母相との格子ミスフィットの量あるいは, 各種整合界面やヘテロ接合界面近傍における格子歪や濃度ゆらぎ等の評価に応用できると思われる.

1. Objective: beam power line foldback (CBED) through the reflection of high-order transmission signals (HOLZ) in the wave board. In the shape of the HOLZ, the grid number of the material bureau is calculated by hand. The accuracy of the measurement is measured. The analytical electron microphone JEM-2000FX was irradiated with semi-solid crystals such as Si, Ge, GaAs, InP, GaSb and so on, and the CBED was obtained. The basic theory of HOLZ, the theory of mechanics, the theory of mechanics. Results: the HOLZ wave length lattice is very sensitive to the fixed number transformation of the incident radio line wave length lattice, and the position of the HOLZ beam is very sensitive. The position of the cross section of the HOLZ beam is the same as that of the polygonal beam, and the inverse wave length lattice is very sensitive. (1) the international community observes the shape of the HOLZ. It is known that the length of the wave is fixed, and the shape of the wave is consistent. (2) the degree of inconsistency depends on the temperature, and the acceleration of the incident azimuth of the electric power line depends on the temperature. (3) the multi-wave effect of the dynamics of inconsistency. (4) the results show that the results are much better than those in the grid. The results show that the mechanical properties of the machine are not necessary. The most convenient method is used, and the average atomic number of the material is unknown. The average atomic number of the material is unknown. The standard of the material standard is the same as that of the accelerator. When the accelerator's incident azimuth is selected, the accuracy of the grid in the field of the office is 0.1%. (5) HOLZ has a wide range of images, such as wild images, dark images, small squares, tiny squares, and so on. In the future, the mother phase of the micro-precipitate is used to measure the temperature of the mother phase, and all kinds of integrated interfaces are used to determine the accuracy of the interface.