异质外延硅-锗层中变形引起的自排序过程-猫眼课题宝

异质外延硅-锗层中变形引起的自排序过程

批准号：

5221372

负责人：

Dr. Günter Wagner

金额：

$0.0万

依托单位：

Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ)

依托单位国家：

德国

项目类别：

Research Grants

财政年份：

2000

资助国家：

德国

项目状态：

已结题

起止时间：

1999-12-31 至 2004-12-31

来源：

https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5221372?language=en

关键词：

Verzerrungsinduzierte Selbstordnungsprozesse heteroepitaktischen Silizium Germanium

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Beeinflussung des SiGe-Insel-Wachstums durch modifizierte Substrate und Weiterentwicklung der Charakterisierung von SiGe-Inseln mittels diffuser Röntgenstreuung

批准号：

5221412
项目类别：

Research Grants
资助金额：

$0.0万
财政年份：

2000
负责人：

Dr. Günter Wagner
依托单位：

Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ)

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