マイクロ波励起高効率高輝度真空紫外エキシマ(Xe_2,ArF)光源の研究開発
マイクロ波励起高効率高輝度真空紫外エキシマ(Xe_2,ArF)光源の研究開発
微波激发高效高亮度真空紫外准分子（Xe_2、ArF）光源的研发
批准号：
01790385
负责人：
熊谷 寛
金额：
$0.64万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
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重水素化多層膜の室温原子層堆積で実現する光増強型光ポンピング原子磁気センサ
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批准号：22K04970
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.66万
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财政年份：2022
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负责人：熊谷 寛
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依托单位：