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重水素化多層膜の室温原子層堆積で実現する光増強型光ポンピング原子磁気センサ

氘代多层薄膜室温原子层沉积实现光增强光泵原子磁传感器

基本信息

批准号：
22K04970
负责人：
熊谷寛
金额：
$ 2.66万
依托单位：
Kitasato University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

光ポンピング原子磁気センサ（OPAM）は室温で超伝導量子干渉素子（SQUID）を凌ぐ感度が期待できるため、ベッドサイドでも心臓や脳神経由来の微小磁場をモニタリングできる可能性がある。しかし2次元センサアレイに資する、チップサイズの原子セルでは、光と原子の相互作用長が短く、光ポンピングされた偏極スピン原子がセル内壁と頻回に衝突し急速にスピンが緩和され、感度が低下する問題があった。本研究の1年目では、原子セル内壁でのスピン緩和を最小にするため磁気モーメントの小さい重水素核に注目し、重溶媒を酸化剤とする重水素化薄膜の室温原子層堆積（室温ALD）を世界で初めて実証する。結果として、表面化学反応が促進する高温でなく膜内に重水素が留まる室温を選択する逆発想から、エタノールd6などの重溶媒蒸気を用いた重水素化薄膜の室温ALD法を実証した。トリメチルアルミ（Al(CH3)3、TMA）を導入し、表面化学反応を誘起し、余剰のTMAを排気した。次に重溶媒蒸気を堆積チャンバー内に導入しOD基で基板表面を覆い、余剰の重水蒸気を排気した。既に水蒸気の吸着過程では実証済みで、重溶媒蒸気でも広い圧力範囲で堆積速度が一定となる「自動停止機構」を発現できることを　明らかにした。次に、重水素化薄膜の重水素化率を変えることで屈折率を変化できることを明らかにした。特に、室温ALDの導入サイクル時間を変化させることで、異なる屈折率の多層膜構造を室温ALD法で作成でき、フレネル反射損失を抑制できることを明らかにした。

The atomic magnetic field (OPAM) superconductor room temperature superconductor (SQUID) Ling Ling sensitivity is expected to be sensitive to the formation of tiny magnetic fields (tiny magnetic fields). In the second dimension, we need to know that the interaction between the atoms is very short, and the interaction between the atoms is very short. In this study, the target of one year, the atomic core, the inner wall, and the minimum temperature, the magnetic field, the magnetic field, the heavy water nuclide, the heavy solvent, the acidizing, the heavy water thin film, the room temperature atomic stack (room temperature ALD), and the beginning of the world, were studied. Results the effect of high temperature temperature, surface chemical reaction and surface chemical reaction on the retention of heavy water in the film was studied at room temperature. results the effect of temperature, temperature, For example, Al (CH3) 3, TMA), surface chemistry, TMA, etc. The secondary heavy solvent steaming is applied to the surface of the OD substrate, and the rest is treated by heavy water steaming. Both the water vapor absorption process and the heavy solvent steam temperature range of the reactor speed must be determined by the automatic stop machine to verify the performance of the machine. The secondary and heavy hydration films are characterized by the heavy hydration rate, the yield rate, the yield rate, the temperature, the temperature and the temperature. Room temperature, room temperature ALD, temperature temperature, temperature,

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

ex vivoブタ頸動脈におけるレーザーシース抜去孔溶着の強度

离体猪颈动脉激光护套去孔焊接强度

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
増田有矢;小川恵美悠;田中萌奈;伊藤颯人;熊谷寛
通讯作者：
熊谷寛

Consideration of Laser Speckle Contrast Analysis for Shunt Management

激光散斑对比度分析用于分流管理的考虑

DOI：
10.1541/ieejeiss.143.471
发表时间：
2023
期刊：
IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems
影响因子：
0
作者：
Kumagai Hiroshi;Nakatake Hikaru;Ogawa Emiyu;Takeda Shun;Kosuge Tomohiro;Inaoka Shuken
通讯作者：
Inaoka Shuken

in vivo ブタ大動脈における多波長後方散乱光を用いた血管遮断率推定: 血液層厚み推定のためのアルゴリズムの構築

使用多波长反向散射光估计体内猪主动脉血管闭塞率：构建血层厚度估计算法