新高輝度硼化物陰極の開発

新型高亮度硼化物阴极的研制

• 批准号: 63550226
• 负责人: 丹司 敬義
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63550226/
• 关键词: 二硼化タンタル; 高輝度電子源; レーザー加熱

電子顕微鏡、電子線描画装置等で望まれる高輝度高電流電子源として二硼化タンタル製フィラメントの特性を調べた。直径0.13mmのタンタル線を分圧約0.1Tor.rのジボランと水素の混合気体中で通電加熱することにより硼化しその熱電子放射特性を測定した結果、仕事関数は4.05eVと比較的小さく、加速電圧75kVの電顕に搭載して1x10^6A/cm^2str.とかなり高い輝度が得られたが、高温における蒸発速度が高いため寿命の点でタングステンには及ばないことが分かった。しかし、タングステンのポイントフィラメントに二硼化タンタルの粉末を塗布し、真空中で焼結した新しい陰極では、熱電子源として元のタングステンよりも優れていることが明らかになった。現在、熱電界放出電子源としての特性を測定中であるが、この場合には、酸化ジルコニウム陰極と同様ショットキーシールドが必要なことが分かって来た。また、このフィラメントの場合、タングステンのループへの通電加熱では十分な温度が得られず、ループの断線により寿命を縮めることが多い。そこでNd:YAGレーザー光をオプティカルファイバーで真空中に導入し加熱するシステムを新たに作製して測定を行っている。

Electronic 顕 micro mirror, electronic line drawing device looking で ま れ る micromixer mixing effect degree of high current electron source と し て diboride タ ン タ ル system フ ィ ラ メ ン ト の features を adjustable べ た. Diameter of 0.13 mm の タ ン タ ル line 圧 を points about 0.1 Tor. R の ジ ボ ラ ン と water element in the mixed の 気 body energized で す heating る こ と に よ り boride し そ の thermionic emission characteristic を determination し た results, foster masato は 4.05 eV と compare small さ く, accelerating electric 圧 75 kv electric 顕 の に carry し て 1 x10 ^ 6 a/cm ^ 2 s Tr. と か な り い high luminance が have ら れ た が, high-temperature に お け る steamed 発 high speed が い た め の point で タ ン グ ス テ ン に は and ば な い こ と が points か っ た. し か し, タ ン グ ス テ ン の ポ イ ン ト フ ィ ラ メ ン ト に diboride タ ン タ ル の を powder coated し, vacuum で 焼 knot し た new し い cathode で は, hot electron source と し て yuan の タ ン グ ス テ ン よ り も optimal れ て い る こ と が Ming ら か に な っ た. Now, the thermoelectric emitted electron source と し て の を determined in で あ る が, こ の occasions に は, acidification ジ ル コ ニ ウ ム cathode と with others in シ ョ ッ ト キ ー シ ー ル ド が necessary な こ と が points か っ て た. ま た, こ の フ ィ ラ メ ン ト の occasions, タ ン グ ス テ ン の ル ー プ へ の electrify heats で は very な temperature が ら れ ず, ル ー プ の bolt に よ り を suo life め る こ と が い more. そ こ で Nd: YAG レ ー ザ ー light を オ プ テ ィ カ ル フ ァ イ バ ー で す に import し heating in vacuum る シ ス テ ム を new た に cropping し て line measurement を っ て い る.

项目成果

矢田慶治: J.Electron.Microsc.Tech.12. 1-10 (1989)

矢田敬二：J.Electron.Microsc.Tech.12（1989）。