半導体レーザESAT系によるファインセラミックス表面微細欠陥の非接触検出の研究

半导体激光ESAT系统非接触式精细陶瓷表面微小缺陷检测研究

• 批准号: 63550282
• 负责人: 田中 治雄
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63550282/
• 关键词: 半導体レーザ; ESAT; 微細欠陥の非接触検出; レーザ光によるSAW励振

本年度の計画は(1)理論解析、(2)ESATの実験、(3)レーザ光からSAWへの変換効率の実測及び(4)総合特性の測定であった。(1)〜(3)は終了し、(4)に関しては目下準備中である。以下(1)〜(3)の成果を順に述べる。(1)レーザ光による同心円状SAW励振の理論:この結果を用いた計算した効率は(3)の実験結果との比較に用いる。又、レーザ光によるSAWの励振法を2通り提案し、それらをi)空間モード、ii)時間モードと名付けた。即ち、SAWの同心円状の変位分布を、i)ではレーザの空間的な同心円状強弱パターンで瞬時に作り、ii)では中心点のみに集中したレーザ光の強度を時間的に変化させ、同心円状の変位分布を順次送り出して作るものである。i)はYAGなど大出力短パルスレーザに、ii)は半導体レーザなど連続波小電力レーザに向いている。レーザの平均電力に対してはii)の方が効率が良い。他にも駆動波形の違いなど比較すべき面白い点も多く、今後も検討していきたい。(2)エレクトレットESATによるSAW検出:従来の電圧バイアス型ESATとの比較のために行った。効率では遜色ないが、エレクトレット表面電荷が他物質との接触で消えやすいことから、実用製で劣る。(3)レーサ光からSAWへの交換効率の測定:本方式の設計上、最も重要な項目と考えられる。我々は次の方法で直接交換効率〓を求めた。即ち、圧電体へレーザを照射してSAWを励振し、圧電体表面のIDTによりそのパワーを直接測定した。そのパワーとレーザ入力から求めた〓は約10^<-9>(レーザ光約3mJ/mm^2)であった。これは(1)で求めた理論値及び、他の文献の歪の実測値から換算した効率とほぼ等しい。以上を基に総合特性測定の系を目下準備中である。尚、(1)に関しては、さらに検討を加え、学会誌等に投稿したい。(2)の内容は裏面の文献に発表した。又、(3)については出来るだけ早い機会に口頭発表したい。

This year's plan consists of (1) theoretical analysis,(2) implementation of ESAT,(3) measurement of conversion efficiency of optical fiber and SAW, and (4) measurement of integrated characteristics. (1)~(3) The end of the game,(4) The end of the game. The results of (1)~(3) below are described in sequence. (1)The theory of concentric SAW excitation: the calculation of the results of this method and the comparison of the results of this method In addition, the SAW excitation method is proposed in two ways: i) space and ii) time. That is, the concentric circle position distribution of SAW, i) the concentric circle strength of the space, ii) the concentric circle strength of the center point, and the temporal change of the concentric circle position distribution. i) YAG high power short circuit, ii) semiconductor low power short circuit The average power of the power source is equal to that of the power source of the power source. He moved the waveform and compared it with the white one, and then he moved it to the white one. (2)ESAT and SAW detection: the voltage from the incoming ESAT and the comparison between them. The efficiency is poor, the surface charge is poor, the contact with other substances is poor, and the application is poor. (3)Measurement of the exchange efficiency of the optical wave: the design of this method, the most important items to consider. I am going to try to find a way to exchange rates directly. The voltage field is measured directly by the voltage field.そのパワーとレーザ入力から求めた〓は约10^<-9>(レーザ光约3mJ/mm^2)であった。This is the first time that the author has studied the theoretical value and the measurement value of his literature. The system for the determination of the above basic characteristics is under preparation. (1) For the purpose of this article, please refer to the following: (2)The contents of the article are presented in the literature. Also,(3) the opportunity to express oneself orally.

项目成果

田中治雄: 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集. 114 (1988)

Haruo Tanaka：电气协会东北分会会议记录 114 (1988)。