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電子線による保護膜付超LSIの評価技術の基礎的研究

電子線による保護膜付超LSIの評価技術の基礎的研究
带保护膜的超大规模集成电路电子束评价技术基础研究
批准号：
63750376
负责人：
中前 幸治
金额：
$0.58万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1988
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1988 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63750376/
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超LSI生産システムにおけるテスト工程のコスト評価
  • 批准号：
    07650396
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    中前 幸治
  • 依托单位：
    Osaka University
雷子線による超LSI内部の絶対電位測定のための基礎的研究
  • 批准号：
    02750320
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.45万
  • 财政年份：
    1990
  • 负责人：
    中前 幸治
  • 依托单位：
    Osaka University
電子線による超LSI内部電位の絶対測定のための基礎的研究
  • 批准号：
    01750367
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1989
  • 负责人：
    中前 幸治
  • 依托单位：
    Osaka University
保護膜付VLSIの電子線による診断のための基礎的研究
  • 批准号：
    62750350
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $0.58万
  • 财政年份：
    1987
  • 负责人：
    中前 幸治
  • 依托单位：
    Osaka University