超LSI生産システムにおけるテスト工程のコスト評価

VLSI生产系统测试过程的成本评估

• 批准号: 07650396
• 负责人: 中前 幸治
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07650396/
• 关键词: 超LSI生産システム; テスト工程; テスト戦略; ロット割り付けアルゴリズム; 稼働率; MTBF; MTTR

超LSI生産システムのテスト工程であるウェーハテスト工程およびファイナルテスト工程を時間とコストの両者に関して詳細にモデル化した。このモデルを用いた離散事象シミュレーションにより次の事項を評価した。1.超LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程とファイナルテスト工程へのLSIテスターの最適配分LSIテスターの直接コストは全生産コストに比べて小さいが、LSIテスターの配分のようなLSIテスト戦略は超LSIの単価に影響を与える重要な要因の一つであるを明らかにした。2.超LSI生産システムにおけるウェーハテスト工程の評価(1)製品ロットの割り付けアルゴリズム先入れ先だし、ジグ交換低減化アルゴリズム、および納期考慮ジグ交換低減化アルゴリズムの3種類のロット割り付けアルゴリズムを比較した。その結果、十分な台数のLSIテスターが利用できる場合は、アルゴリズムに関わらず超LSIの単価を最小に出来ること、十分な台数のLSIテスターが利用できない場合は、単価に関してはジグ交換低減化アルゴリズムが有効であることが分かった。(2)LSIテスターの稼働率処理ロット数に関して最適なLSIテスター台数を選んだとき、LSIテスターの稼働率が最大に、ロットあたりのコストは最小になることが分かった。(3)LSIテスター台数に与えるMTBF及びMTTRの影響LSIテスターの故障間の動作時間の平均値(MTBF)と故障時の平均修理時間(MTTR)をパラメータとして処理ロット数に関するLSIテスターの最適台数を求めた。その結果、MTBFが1000時間以上、MTTRが12時間以下であれば最適台数は変化せず、コストへの影響も小さいことが分かった。

Super LSI production system engineering time and space engineering detailed information This is the first time I've ever seen a person 1. LSI production system engineering and LSI system engineering are the most suitable components of LSI production system. The distribution of LSI system is slightly smaller than that of LSI production system. The influence of LSI system engineering on LSI production system is also important. 2. The evaluation of super LSI production system engineering (1) Comparison of three types of product switching system, i.e., switching system, switching system and switching system. The result is that the number of LSI components in the system is reduced in the case where the number of LSI components in the system is reduced in the case where the number of LSI components in the system is reduced in the case where the number of LSI components in the system is reduced. (2) The number of LSI parameters is the most appropriate for the number of LSI parameters. (3) MTBF and MTTR affect the number of LSI components and the average operating time between failures (MTBF) and the average time to repair (MTTR). Results: MTBF> 1000 time, MTTR <12 time, optimal number of MTTR <1000 time, MTTR <12 time, MTTR <

项目成果

K.Nakamae: "Test-Process Evaluation in LSI manufacturing-ATE planning effects on the total LSI manufacturing costs" IEEE Design & Tset of Computers. 発表予定).

K. Nakamae：“LSI 制造中的测试过程评估 - ATE 规划对 LSI 制造总成本的影响”IEEE Design & Tset of Computers（待提交）。