Thin film sintering

薄膜烧结

• 批准号: 5235156
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Rödel
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Nichtmetallisch-Anorganische Werkstoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5235156?language=en
• 关键词: Thin; film; sintering

Beim Sintern dünner Filme auf einem Substrat tritt eine geometrische Einschränkung dadurch auf, daß der Film durch die Substrathaftung nicht in der Ebene schrumpfen kann. Dieses kann durch eine in der Ebene auftretende Spannung, die der Sinterspannung entgegen steht, im Rahmen einer kontinuumsmechanischen Formulierung beschrieben werden. In dieser Formulierung treten analog zum elastischen Fall Kompressionsviskositäten und insbesondere ein viskoser Poissonkoeffizient auf. Im Projekt soll das Sintern dünner Filme mit und ohne Substrat dilatometrisch beschrieben und die Entwicklung des Gefüges charakterisiert werden. Ein Modellexperiment wird in einer Heißschmiede erreicht, indem auf einen frei sinternden Massivwerkstoff eine zeitlich variable uniaxiale Spannung so aufgeprägt wird, daß keine radialen Dehnungen auftreten. Dieses Experiment dient dem direkten Vergleich zum Sintern eingeschränkter Filme und der Messung des viskosen Poissonkoeffizienten. Aus einer theoretischen Beschreibung des Sinterns werden weiterhin sowohl aus dem Sinterexperiment wie aus dem Experiment in der Heißschmiede Sinterspannung und Viskositäten in Abhängigkeit von Dichte und Korngröße gewonnen.

在电影中使用 Substrat tritt eine geometrische Einschränkung auf，在电影中使用 Substrathaftung nicht in der Ebene schrumpfen kann。可以看到，在 der Ebene auftretende Spannung 中，die der Sinterspannung entgegen steht，是 Rahmen einer kontinuumsmechanischen Formulierung beschrieben werden。在模拟弹性压缩的形成过程中，会产生粘滞力和粘滞力。我的项目是在辛特恩拍摄的电影，并具有底片膨胀测量的特征和特征。在任何一个Heißschmiede erreicht中的模型实验中，indem auf einen frei sinternden Massivwerkstoff eine zeitlich Variable uniaxise Spannung so aufgeprägt wird, daß keine Radien Dehnungen auftreten.该实验是由辛特恩电影公司直接进行的实验和粘性泊松效率的消息。 Aus einer theoretischen des Sinterns weiterhin sowohl aus dem Sinterexperiment wie aus dem Experiment in der Heißschmiede Sinterspannung und Viskositäten in Abhängigkeit von Dichte und Korngröße gewonnen.