Thin film sintering

薄膜烧结

• 批准号: 5235156
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Rödel
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Nichtmetallisch-Anorganische Werkstoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5235156?language=en
• 关键词: Thin; film; sintering

Beim Sintern dünner Filme auf einem Substrat tritt eine geometrische Einschränkung dadurch auf, daß der Film durch die Substrathaftung nicht in der Ebene schrumpfen kann. Dieses kann durch eine in der Ebene auftretende Spannung, die der Sinterspannung entgegen steht, im Rahmen einer kontinuumsmechanischen Formulierung beschrieben werden. In dieser Formulierung treten analog zum elastischen Fall Kompressionsviskositäten und insbesondere ein viskoser Poissonkoeffizient auf. Im Projekt soll das Sintern dünner Filme mit und ohne Substrat dilatometrisch beschrieben und die Entwicklung des Gefüges charakterisiert werden. Ein Modellexperiment wird in einer Heißschmiede erreicht, indem auf einen frei sinternden Massivwerkstoff eine zeitlich variable uniaxiale Spannung so aufgeprägt wird, daß keine radialen Dehnungen auftreten. Dieses Experiment dient dem direkten Vergleich zum Sintern eingeschränkter Filme und der Messung des viskosen Poissonkoeffizienten. Aus einer theoretischen Beschreibung des Sinterns werden weiterhin sowohl aus dem Sinterexperiment wie aus dem Experiment in der Heißschmiede Sinterspannung und Viskositäten in Abhängigkeit von Dichte und Korngröße gewonnen.

Beim Sintern dünner Filme auf einem Substrat tritt eine geometrische Einschränkung dadvertauf，dadvertder Film durch die Substrathaftung in der Ebene schrumpfen kann.这可以通过一个在Ebene中的增强拉伸，在一个连续的机械结构中使烧结拉伸变得稳定，韦尔登。在这个公式中，有一个类似于弹性体的下降压缩力，并在此基础上有一个泊松系数。Im Projekt soll das Sintern dünner Filme mit und ohne Substrat Metrisch beschrieben und die Entwicklung des Gefüges charakterisiert韦尔登.一个模型实验将在一个Heißschmiede erreicht，indem auf einen frei sinterden Massivwerkstoff一个zeitlich变量单轴Spannung so aufgeprägt wird，dahnkeine radialen Dehnungen auftreten。该实验表明，该方法可以直接用于Sintern eingeschränkter Filme和Viskosen Poissonkoeffizienten的测量。从理论上来说，对Sinters的描述韦尔登可以从Sinterexperiment中获得，就像在Abhängigkeit von Dichte und Korngröße中进行Heißschmiede Sinterspannung und Viskositäten实验一样。