Thin film sintering

薄膜烧结

• 批准号: 5235156
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Rödel
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Nichtmetallisch-Anorganische Werkstoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5235156?language=en
• 关键词: Thin; film; sintering

Beim Sintern dünner Filme auf einem Substrat tritt eine geometrische Einschränkung dadurch auf, daß der Film durch die Substrathaftung nicht in der Ebene schrumpfen kann. Dieses kann durch eine in der Ebene auftretende Spannung, die der Sinterspannung entgegen steht, im Rahmen einer kontinuumsmechanischen Formulierung beschrieben werden. In dieser Formulierung treten analog zum elastischen Fall Kompressionsviskositäten und insbesondere ein viskoser Poissonkoeffizient auf. Im Projekt soll das Sintern dünner Filme mit und ohne Substrat dilatometrisch beschrieben und die Entwicklung des Gefüges charakterisiert werden. Ein Modellexperiment wird in einer Heißschmiede erreicht, indem auf einen frei sinternden Massivwerkstoff eine zeitlich variable uniaxiale Spannung so aufgeprägt wird, daß keine radialen Dehnungen auftreten. Dieses Experiment dient dem direkten Vergleich zum Sintern eingeschränkter Filme und der Messung des viskosen Poissonkoeffizienten. Aus einer theoretischen Beschreibung des Sinterns werden weiterhin sowohl aus dem Sinterexperiment wie aus dem Experiment in der Heißschmiede Sinterspannung und Viskositäten in Abhängigkeit von Dichte und Korngröße gewonnen.

从底片到底片，再到底片上。这是一种不同的生活方式，也是一种新的生活方式。在柴油配方中，模拟的zum弹性材料会下降，粘性材料的粘性会降低。Im Projekt soll das Sintern dünner Filme MIT and Ohne e衬底Expanatrisch Beschrieben and die Entwicksoles des Gefüges Charakterisiert Wen.Ein Model实验将在einer Hei？Schmiede erreicht，INDEM auf einen frei sinterden Massivwerkstoff eine zeitlich Variable Unaxiale Spannung so aufgeprägt wird，da？keine Radialen Dehnungen auftreten.这是一项非常重要的实验，它的目的是为了更好地解决问题。在ABHänGigkeit von Dichte and Korngröçe gewonnen的Der Hei？Schmiede Sinterspannung and Viskoiteäten中，Aus einer Sinterspannschen Beschreibung des Sinters的实验与Aus DEM实验的结果是一致的。