高周波プラズマにおける電子エネルギー分布関数の高分解能測定
高周波プラズマにおける電子エネルギー分布関数の高分解能測定
高频等离子体中电子能量分布函数的高分辨率测量
批准号：
03750036
负责人：
木村 高志
金额：
$0.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
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会议论文
Preparation of functional materials via highly efficient and sustainable sputtering system using multi pulse plasma
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批准号：23K03817
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.0万
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财政年份：2023
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负责人：木村 高志
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依托单位：
高周波プラズマ源を用いた超微細加工処理装置の試作
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批准号：12750239
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$1.41万
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财政年份：2000
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负责人：木村 高志
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依托单位：