CVD法による窒化アルミニウム/窒化チタン系ナノ複合材料の合成
CVD法による窒化アルミニウム/窒化チタン系ナノ複合材料の合成
CVD法合成氮化铝/氮化钛纳米复合材料
批准号：
04750788
负责人：
江頭 靖幸
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
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会议论文
CARD(コンピュータ支援反応設計)によるCVD反応系の開発
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批准号：07750841
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1995
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负责人：江頭 靖幸
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依托单位：
気相添加物による表面反応の制御を利用した低圧酸化シリコンCVD成膜の改良
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批准号：06750790
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1994
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负责人：江頭 靖幸
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依托单位：
気相添加物によるラジカル反応の制御を利用した低圧酸化シリコンCVD成膜反応の改良
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批准号：05750684
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1993
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负责人：江頭 靖幸
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依托单位：