Investigation of condensation and evaporation of calcium fluoride crystals by molecular beam methods and atomic force microscopy

用分子束法和原子力显微镜研究氟化钙晶体的凝结和蒸发

• 批准号: 5255378
• 负责人: Dr. Heinz Dabringhaus
• 金额: --
• 依托单位: Clausius-Institut für Physikalische und Theoretische Chemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5255378?language=en
• 关键词: Investigation; condensation; evaporation; calcium; fluoride

Obgleich Calciumfluorid (CaF2) u. a. für das Wachstum dünner epitaktischer Schichten auf Silizium und wegen seiner optischen Eigenschaften für die Mikrolithographie von großem technischen Interesse ist, sind das Wachstum von CaF2-Kristallen selbst aus dem Dampf und der hierzu inverse Prozeß, die Verdampfung, bisher praktisch nicht untersucht worden. In dem vorliegenden Forschungsvorhaben soll die Ermittlung der grundlegenden Wachstums- und Verdampfungsmechanismen von CaF2 durch die Kombination von Molekularstrahlverfahren und Atomkraftmikroskopie erfolgen. Dazu sollen einzelne, die Kondensation und Verdampfung beherrschende kinetische Parameter, wie Kondensationskoeffizient, mittlerer Diffusionsweg, Verweilzeit und Oberflächendiffusionskoeffizient, in Abhängigkeit von Temperatur und Sättigungsverhältnis gemessen sowie die entstandenen Oberflächentopographien durch direkte Abbildung mit bis zu atomarer Auflösung bestimmt werden. Da beim CaF2 die Gleichgewichts-(Spalt-)fläche (111) und die Wachstumsfläche (100) nicht zusammenfallen, sollen Untersuchungen für (111)- und (100)- aber auch für (110)-Flächen duchgeführt werden.

Obgleich氟化钙（CaF 2）u. a.由于CaF 2-Kristallen自润湿和自逆润湿的Wachstum在SiO2上的外延生长和用于微影技术的光学特性，因此，该润湿，更好的实践并不需要沃登。在这一研究中，通过分子束流和原子束流的联合作用，对CaF 2的基本水动力学和阻尼机理进行了研究。在温度和湿度的吸收中，通过直接吸收两个原子的气流来估计韦尔登，可以得到一个压缩和压缩的动力学参数，即压缩系数、最小扩散系数、最大速度和最大速度。由于CaF 2的Gleichgewichts-（Spalt-）fläche（111）和Wachstumsfläche（100）并不完全相同，因此可以使用（111）和（100）的混合物，但也可以使用（110）-Flächen duchgeführt韦尔登。