权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

エッチングプラズマにおけるイオンの2次元的挙動の解明

阐明蚀刻等离子体中离子的二维行为

基本信息

批准号：
05780361
负责人：
奥野喜裕
金额：
$ 0.58万
依托单位：
Saga University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1993
资助国家：
日本
起止时间：
1993 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

ドライエッチング用のプラズマ源として、マイクロ波ECRプラズマが広く用いられている。プラズマ中のイオンはエッチングに直接関与することから、イオンのエネルギーや速度のみならずその方向性を明らかにする必要がある。本研究課題では、キャピラリープレートを第1グリッドのもつ角度分解能に優れた(1〜2^°)方向性エネルギーアナライザを用いてイオンの2次元速度分布関数宇を精度良く測定し、マイクロ波ECRプラズマにおけるイオンの2次元的挙動を解明した。以下に得られた結果を述べる。1.イオンの2次元速度分布関数はECR領域近傍(上流域)でほぼ等方的であるが、下流域では、上流域との電位差によりイオンビームが形成される。そのム-ビは、装置に依存するある角度内で観測され、その角度以外での分布関数はおおよそ等方的である。2.イオンビームの平均速度は、ECR源から離れるにしたがい増加するが、作動気体圧力の増加とともに減少する。3.ECR源からの距離および圧力の増加とともに、イオンビームのエネルギー拡がりは増加し、バルクイオンの温度は減少する。4.装置の中心軸からずれた点では、中心軸に対してある角度を持ったイオンビームが形成される。ビーム方向は、その場での磁界の方向とおおよそ一致し、磁界配位に依存する。すなわち、下流域の磁界をcollimateするとイオンビームもcollimateされる。5.下流域の磁界をcollimateすると、上流域と下流域での電位差が減少し、下流域で観測されるイオンビームの平均速度は減少する。またそのとき、ビームの温度は増加し、バルクイオンの温度は減少する。

All kinds of products are available in China. The speed and directionality of the vehicle are necessary for the vehicle to move forward. This research topic is to determine accurately the 2D velocity distribution of the first order of angular decomposition energy, and to solve the 2D motion of the first order of angular decomposition energy, and to solve the 2D motion of the second order of angular decomposition energy. The following is a summary of the results. 1. The two-dimensional velocity distribution is related to the formation of the potential difference between the near (upper) and lower (upper) ECR regions. For example, if the device is not installed, the device will be installed. 2. The average speed of the engine increases, the ECR source increases, the actuating force increases, and decreases. 3. The distance between the ECR source and the pressure increases, and the temperature of the ECR source decreases. 4. The center axis of the device is opposite to the center axis and the center axis is opposite to the center axis. The orientation of the magnetic field depends on the magnetic coordination. The magnetic field of the downflow domain collimates with the magnetic field of the downflow domain. 5. The magnetic field of the lower basin collimates, the potential difference between the upper basin and the lower basin decreases, and the average velocity of the lower basin collimates. The temperature of the room increases and decreases.