過酸化ポリタングステン酸系無機レジストの感光機構に関する研究

过氧化多钨酸基无机光刻胶光敏机理研究

基本信息

  • 批准号:
    05750604
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 财政年份:
    1993
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1993 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

報告者らは、金属タングステンあるいは炭化タングステンに過酸化水素水水溶液を作用させると、新しいタイプの過酸化ポリタングステン酸が生成することを見いだした。この酸の水溶液から得られる非晶質薄膜は、深紫外線、電子線などの放射線に感応し、水系溶媒に対する溶解度が著しく変化するのでマイクロリソグラフィー用無機レジストとして興味がもたれる。また、本ポリ酸塩を前駆体とする低温焼成法により、応用上興味のある新規複合酸化物が得られることも前年度の研究によって明かになってきた。しかし、このポリ酸は非晶質としてしか固体化し得ないので単結晶X線構造解析が適用できず、ポリアニオンの詳細な構造は未確定であった。本年度の研究では、非晶質X線回折によって提案された過酸化ポリタングステン酸のアニオン構造モデルを検証するために、赤外、ラマンの各分光法を用いた。その結果、調整当初の過酸化ポリタングステン酸は、WO^6八面体の稜共有による三員環と、同八面体の一カ所を過酸化物基により置き換えた五角両錘の頂点共有による六員環が結合してできたクラスターからなることがわかった。このクラスターの稜共有部分は熱処理により解裂し、頂点共有のみからなる構造となるが、この解裂は80℃を境に起こることがわかった。深紫外線を照射した、試料では、処理により温度はさほどあがっていないにも関わらず、稜共有部分は失われていることがわかった。また、縮重合に伴い酸素が放出されるが、その一部は固体中に捕獲されていることがラマン分校法により明かとなった。
Reporter: タングステンあるいはcarbonized タングステンにPeracidified hydrogen aqueous solutionをUse させると and new しいタイプの to overacidify the ポリタングステン acid が to produce することを见いだした. Aqueous acid solution, amorphous thin film, deep ultraviolet, electron beam, radioactive ray, water-based solvent対するSolubility が出しく変化するのでマイクロリソグラフィー Use inorganic レジストとして心丝がもたれる.また, this ポリ acid 桩を前槆体 とする low-temperature baking method により, 応 のある新The research on the compound acid compound was carried out in the previous year. Amorphous としてしか solidified しいので単 crystal X-ray Structural analysis is applicable, and ポリアニオンのdetailed structure is undetermined. This year's research project proposes a non-crystalline X-ray refractory superacidified fluorocarbon Acid のアニオン structural モデルを検证するために, infrared, and ラマンの each spectroscopic method is used. As a result, the original overacidified ポリタングステン acid は was adjusted, WO^6 octahedral のrib shared によるthree-membered ring と, and the same octahedral の一カをPeracid base によりsetきchangeえたpentagon両hammerのvertex total による六The member's ring is combined with the してできたクラスターからなることがわかった.このクラスターのThe edge is shared, the heat treatment is cracked, and the vertex is shared のみからなるstructuralとなるが、このlysisは80℃を界に出こることがわかった. Deep ultraviolet ray irradiation, sample processing, temperature processing The いないにも关わらず and the edge share part は Lost われていることがわかった.また, the contraction and overlap of に与い acid element が release されるが, その一一は中に capture されていることがラマン分法により明かとなった.

项目成果

期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
T.Kudo,Y.Aikawa,Li Zongmirg and A.Kishimoto: "Transitional current analysis useful for intercalation electrode/solid electrolyte system" Solid State Ionics. 62. 99-104 (1993)
T.Kudo、Y.Aikawa、Li Zongmirg 和 A.Kishimoto:“过渡电流分析对插层电极/固体电解质系统有用”固态离子学。
  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
A.Kishimoto,N.Matsuzaki and T.Kudo: "Oxygen molecules stably caged in a UV irradiated thin film from peroxo polytungstic acids" J.Ceram.Soc.Jpn. 101. 143-144 (1993)
A.Kishimoto、N.Matsuzaki 和 T.Kudo:“氧分子被稳定地捕获在过氧多钨酸的紫外线照射薄膜中”J.Ceram.Soc.Jpn。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
I.Tsuzumoto,A.Kishimoto and T.Kudo: "Hexagonal tungusten bronze synthesized from potassium peroxo-polytungstate and its electrical properties" Solid State Ionics. 59. 211-216 (1993)
I.Tsuzumoto、A.Kishimoto 和 T.Kudo:“由过氧聚钨酸钾合成的六方钨青铜及其电性能”固态离子学。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
岸本 昭、松崎尚介、日比野光宏、工藤徹一: "過酸化ポリタングステン酸系無機レジストの遠紫外光照射による構造変化" 日本化学会誌. 1041-1046 (1993)
Akira Kishimoto、Naosuke Matsuzaki、Mitsuhiro Hibino、Tetsuichi Kudo:“深紫外光照射导致多钨酸过氧化物基无机抗蚀剂的结构变化”日本化学学会杂志 1041-1046 (1993)。
  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
J.Oi,A,Kishimoto and T.Kudo: "Hexagonal and Pyrochlor-type Cesium Tungstate synthestzed from Cesium Peroxo-polytungstate and Their Redox Chemistry" J.Solid State Chem. 103. 176-185 (1993)
J.Oi,A,Kishimoto 和 T.Kudo:“由过氧聚钨酸铯合成的六方和烧绿石型钨酸铯及其氧化还原化学”J.Solid State Chem。
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  • 发表时间:
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