化学気相蒸着法による選択的水素透過能を有する金属薄膜の調製

化学气相沉积法制备选择性透氢金属薄膜

• 批准号: 05750694
• 负责人: 上宮 成之
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Seikei University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750694/
• 关键词: パラジウム; 無機多孔質膜; 複合膜; 水素; CVD; 錯体

CVD法に適した高揮発性の化合物としてアセチルアセトナト錯体を選択し、大気圧下、熱分解によりパラジウムを多孔質体の細孔内に担持することを試みた。析出速度や析出物の形態に大きな影響を与える操作因子に関して基礎的知見を得るため、平板状ガラス基板上へのパラジウム薄膜の析出させ、析出速度を求めた。その結果、錯体の気化温度は180℃のとき、最も大きな析出速度が得らることがわかった。この温度を越えると、錯体が急速に分解し、効率的に気化させることができなかった。また、基板温度として300℃が最も適していることをみいだした。なお、SEM観察により、以上の析出条件下では緻密な膜が得られることを確認している。得られた基礎的知見をもとに、平均細孔径200nmの多孔質アルミナ管への析出を試みた結果、目的とする管中央部(2cm)に、ほぼ選択的にパラジウムを析出させることができたが、2時間析出したのみでは、完全に細孔を塞ぐことができなかった。しかし、管内をアスピレーターで減圧にすることでパラジウム化合物は細孔内に吸引され、細孔開口部付近で分解が起こっていることが、EPMAによる元素分析で確認することができた。以上の結果は、析出操作を繰り返すことで細孔を塞ぎ、水素を選択的に透過する非対象型分離膜を調製できることを示唆している。昇華させたパラジウム化合物の細孔内での拡散と析出を制御できるように、装置の改良および最適条件(特に析出温度、管内圧力)の確立が今後の研究課題である。

The method of CVD shows that the chemical compounds are not suitable for the determination of the content of the wrong body, the decomposition method, the chemical composition of the porous body and the pore size of the compound. The speed of precipitation, the shape of the precipitate, the shape, the shape, shape, and speed of the precipitate. The results of the experiment, the temperature of the wrong body at 180 ℃ and the precipitation rate of the highest temperature were determined. The temperature increases rapidly, the wrong body decomposes rapidly, and the rate changes rapidly. Temperature, substrate temperature, 300 ℃, temperature, substrate temperature, temperature, Under the above conditions of precipitation, the membrane under the condition of precipitation should be checked by SEM and make sure that the membrane is fine. The results of the precipitation test of the average aperture 200nm porous tube, the central part of the tube (2cm), the selected one, the temperature at 2, and the hole plug at 2, respectively, were obtained. In the tube, the absorption of the compound in the hole, the opening of the hole, and the elemental analysis of the EPMA were confirmed by elemental analysis and elemental analysis. The results of the above results, the precipitation operation results show that the hole is clogged and the water content is selected by the non-image separation membrane. In order to ensure the establishment of the most suitable conditions (special precipitation temperature, pressure in the tube) for future research, the chemical compound has been dispersed in the hole to control the precipitation temperature and improve the equipment.

项目成果

小島 紀徳: "CVD法による新素材・材料開発" ケミカルエンジニアリング. 38. 434-438 (1993)

小岛纪德：“CVD 法新材料的开发”《化学工程》38. 434-438 (1993)。

Uemiya,S.: "Preparation of Highly Permeable Membranes for Hydrogen S Separation Using a CVD Technique" Proc.3rd.International Conference of Inorganic Membranes. (in press). (1994)

Uemiya,S.：“使用 CVD 技术制备用于氢 S 分离的高渗透膜”Proc.3rd.国际无机膜会议。