Entwicklung und Bau von Beugungsoptiken für 13 nm-Strahlung für Experimente zur Erzeugung ultrahoher Spitzenintensitäten im weichen Röntgenbereich bei hoher Wiederholrate

开发和构建 13 nm 辐射衍射光学器件，用于以高重复率在软 X 射线范围内产生超高峰值强度的实验

• 批准号: 5263912
• 负责人: Professor Dr. Günter Schmahl (†)
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Röntgenphysik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5263912?language=en
• 关键词: Entwicklung; und; Bau; von; Beugungsoptiken

Die Strahlung hoher Harmonischer aus Femtosekundenstrahlung in Gasstrahlen zeichnet sich durch eine hohe Pulsbrillanz aus. Mit Hilfe hochauflösender Zonenplatten kann diese Strahlung analysiert und die Pulsbrillanz optimiert werden. Weiterhin wird es mit solchen Optiken möglich sein, bisher unerreichte Leistungsdichten im Röntgen- bzw. EUV-Bereich zu erzielen. Dies eröffnet den Weg zur nichtlinearen Optik in diesem Spektralbereich. Für die geplanten und im Verbundantrag ausführlich dargestellten Experimente sollen Phasenzonenplatten für 13 nm-Strahlung mit verschiedenen Brennweiten, Zonenzahlen und äußeren Zonenbreiten bis herunter zu 50 nm mit gutem Beugungswirkungsgrad entwickelt werden. Die Entwicklung dieser Zonenplatten sowie von Gittern mit 10000 Linien/mm soll mit Hilfe der Elektronenstrahllithographie und mit modernen Techniken der Nanostrukturübertragung durchgeführt werden.

在加斯特拉伦时代，他的声音很和谐，但他的脉搏却不是很好。MIT Hilfe Hochauflösender Zonenplten kann Diese Strahung Analysiert and die Pulsbrillanz Optimiert是。Weiterhin wed es MIT solchen Optiken möglich sein，Bisher unerreichte Leistungsdichten im Röntgen-BZW.EUV-Bereich zu erzielen.他说：“这是一个很好的选择。Für die gePlanten and im Verbundantrag Ausführlich darsterellten Examente e Sollen PhasenzonenPlatten für 13 nm-Strahung MIT verschiedenen Brennweiten，Zonenzahlen undäu？Eren Zonenbreiten bis Herunter zu zu 50 nm MIT gut beugungswirkungsgrad entwickelt.在10000里昂/毫米范围内，我们采用了最先进的纳米结构光刻机和现代光刻机。