エヴァネッセント光アシスト・マイクロ光造形法に関する基礎研究

瞬逝光辅助微立体光刻基础研究

• 批准号: 06750154
• 负责人: 加藤 純一
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: The Institute of Physical and Chemical Research
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750154/
• 关键词: 光造形; エヴァネッセント光; 光硬化性樹脂; 実時間縞画像解析

光造形法は,マイクロ構造物の創成手法として新しい可能性を持つが,現状では形成できる微小加工たんい光の数波長オーダーに制約され必ずしも充分に細かい形状が得られない.本研究では,上記の問題を解決するため,光の全反射界面で得られるエヴァネッセント光と,通常のビーム集光を組み合わせた波長以下の加工単位を持つマイクロ光造形手法を開発するための基礎的な特性を得ることを目的とした。今年度,エヴァネッセント光のみによる光硬化性樹脂の硬化特性について調べ,どの程度の微小加工単位が実現できるか,また3次元的な形状創成を行う際の問題点などについて検討を行った.その結果,入手が容易な紫外線用硬化樹脂は,微細パターン照射に用いたアルゴンレーザー(波長488nm)では充分な硬化が行えず事後硬化処理が必要であり,明確な硬化特性・深さを評価するにいたらなかった。しかし,全反射面表面で薄膜形成が行われることは確認した。また,全反射条件を得るためのプリズム表面に形成された硬化層を剥離・移動してゆく手法が問題となることがわかった。硬化性樹脂としては,より長波長側に感度を持つ樹脂について同様の検討を行うとともに,干渉縞書き込みによる硬化結果を用い横方向の硬化特性についても調べる予定である。また本年度は,硬化状態のモニタリングの1手法として高精度干渉縞解析装置に改良を加え,観測領域中複数点での位相変化を実時間で出力可能とし,その動作を確認した。この手法を適用しエヴァネッセント光による光硬化過程および硬化厚の均一性などについてリアルタイム計測を行うことを予定している。

In the method of light shaping, the possibility of a new method of creation is very important, and it is necessary to make full use of the optical wave length of light in micro-machining. In this study, in order to solve the problem, the optical total reflection interface is used to obtain the optical reflection. in this study, the optical total reflection interface is used to obtain the optical reflection. in this study, in this study, the solution to the problem in this study, the optical total reflection interface is used to obtain the optical reflection. in general, the processing position below the wavelength of the optical device is very important. This year, the light-hardening properties of light-hardening grease, the degree of micro-machining, the shape of the third dimension, the characteristics of light hardening, the characteristics of light hardening, the degree of micromachining, the shape of the third dimension, and the shape of the third dimension. The results show that it is easy to use hardening grease on the UV line, and the microwave radiation device is fully hardened by ultraviolet radiation (wavelength 488nm). After the hardening process, it is clear that the hardening characteristics are very deep. In this case, the film on the surface of the total reflector is formed. Under the condition of total reflection, the surface is affected by the formation of thermal hardening, peeling, moving, peeling, and manipulation. The long-term sensitivity of sclerosing fat is very high, and the long-term sensitivity is the same as that of stear. the results of the hardening results are determined by the horizontal direction of the hardening properties. In the current year, the hardening status of high-precision dry-wire analysis equipment has been improved, and the time of phase transformation of complex points in the field may be difficult, and the monitoring action has been confirmed. The process of light hardening, the thickness of hardening, the uniformity of hardening thickness, the thickness of hardening, the thickness of light hardening, the thickness of hardening, the uniformity of hardening thickness, the thickness of hardening, the thickness of light hardening, the thickness of hardening, the uniformity of hardening, the thickness of hardening, the uniformity of hardening, the thickness of hardening, the