薄液膜法による電気磁気機能性多層薄膜の作製とその特性制御に関する基礎的研究

液膜法制备电磁功能多层薄膜及其性能控制的基础研究

• 批准号: 06750319
• 负责人: 井上 光輝
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Toyohashi University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750319/
• 关键词: 薄液膜法; 多層膜; ME効果; 磁歪; 超磁歪; 軟磁性; 無電解メッキ; アモルファス

1.薄液膜法によるFeBアモルファス薄膜の作成・・・薄液膜法を用いてFeBアモルファス薄膜の作製を試みた。独立に用意した反応液A(硫酸第一鉄+アンモニア+ロッシェル塩)と反応液B(水素化ホウ素ナトリウム+アンモニア)を活性化処理を行ったガラス基板上の狭領域中で無電解メッキ処理し、基板上に金属光沢をもつ薄膜試料を得た。組成分析、磁気特性評価から、得られた試料はホウ素を40at.%以上含むアモルファス状態にある。このホウ素含有量は、従来通常のメッキ法で得られるものの2倍以上という高いものであり、薄液膜法で製膜された試料の特徴といえる。ホウ素濃度は反応液B中の水素化ホウ素ナトリウム濃度で制御できるので、高磁歪軟磁気特性を持つことで知られるアモルファスFe_<80>B_<20>を目標組成として製膜を行う予定である。2.高周波スパッタ法によるTbFe/FeB系超磁歪軟磁性薄膜材料の開発・・・優れた電気磁気機能性膜を実現するには磁性膜に磁歪が大きくかつ軟磁性を示すものが必須である。この観点から、1のアモルファスFeB薄膜とは別に、高周波スパッタ法でアモルファスTbFe/FeB多層構造膜を作製し、その磁気及び磁気弾性特性を詳しく調べた。その結果、多層構造を導入することで、TbFe膜に匹敵する超磁歪特性を持ちながら保磁力が10Oe以下とういう極めて優れた超磁歪軟磁性薄膜試料を得た。この薄膜試料を基礎として、今後電気磁気機能性薄膜材料開発を行う予定である。

1. The thin liquid film method uses the thin liquid film method to make the thin film into a thin liquid film. The thin liquid film method is used to test the thin film with the FeB film. The purpose of this paper is to determine the activity of solution A (sulfuric acid, sulfuric acid, sulfuric The composition analysis, magnetic property analysis, and the content of more than 40at.% of the material contains the status of the material. You can get more than 2 times the content by the usual method, thin liquid membrane method, thin liquid membrane method, thin liquid membrane In liquid B, the water content, the temperature, the temperature two。 The TbFe/ Feb series of supermagnetic thin film materials are used in the high-cycle scanning calorimetry method. The performance of the electronic magnetic machine energy film shows that the magnetic film is distorted and the magnetic field is distorted. The characteristics of FeB thin film, high-cycle temperature, high-frequency, high-frequency, high-frequency, The results show that the magnetic properties of TbFe films are higher than that of magnetic thin films, and the magnetic properties of TbFe films are higher than that of magnetic thin films. In the future, electronic magnetic functional thin film materials will be used in the future.

项目成果

猪狩孝洋: "TbFe/FeBアモルファス多層高磁歪薄膜の磁気及び磁気弾性特性" 電気学会論文誌(A). (10月発刊). (1995)

Takahiro Ikari：“TbFe/FeB非晶多层高磁致伸缩薄膜的磁和磁弹性特性”，日本电气工程师学会会刊（A）（1995年10月出版）。

T.Fujii: "MAGNETO-SURFACE-ACOUSTIC-WAVE(MSAW)DEVICES WITH A LARGE PHASE CONTROLLABILITY:MULTILAYER LOVE-TYPE MSAW DEVICES" Int.J.Appl.Electromagnetics in Materials. 5. 255-265 (1994)

T.Fujii：“具有大相位可控性的磁表面声波 (MSAW) 器件：多层爱型 MSAW 器件”Int.J.Appl.材料电磁学。

藤田直幸: "リキッド・フィルム製膜法によるアモルファスFe-B合金薄膜の作製" 日本応用磁気学会学術講演概要集. 267- (1994)

Naoyuki Fujita：“液膜沉积法制备非晶Fe-B合金薄膜”日本应用磁学会学术讲座摘要267-（1994）。

T.Igari: "MAGNETIC AND MAGNETOELASTIC PROPERTIES OF HIGHLY MAGNETOSTRICTIVE AMORPHOUS FILMS WITH TbFe-FeB-TbFe SANDWICH STRUCTURE" Proc.of MRS Fall Meeting. (in press). (1995)

T.Igari：“具有 TbFe-FeB-TbFe 三明治结构的高磁致伸缩非晶薄膜的磁性和磁弹性”Proc.of MRS 秋季会议。