プローブ顕微鏡による表面微細加工とそのレプリケーション

使用探针显微镜进行表面微加工及其复制

• 批准号: 06750854
• 负责人: 大森 隆
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750854/
• 关键词: プローブ顕微鏡; 表面微細加工; 構造転写

まず,プローブ顕微鏡により,表面微細加工及びその構造の安定性について調べた.グラファイトを試作基板とした場合,表面加工の再現性は乏しかった.金では,加工は比較的容易であった.径,高さともサブミクロンオーダーの隆起の形成が可能であった.しかし,隆起が表面拡張により徐々に消失することが確認された.最後にSiでは,再現性よく良好な加工が可能であった.右図にその一例を示す.これは,シリコン基板表面にSIという文字を描いた様子を示すものである.加工文字はくぼみでできているのがわかる.図のスケールは2μm四方であり,文字の線幅はここでは約30nmとなっている.シリコンを試料基板に用いることにより,任意の形状の加工が可能であり,また構造も安定であることがわかった.次にこのSiを試料に用いて,表面加工を行った箇所を再び基板上から探し出すことが可能かどうかを調べた.加工サイズがナノメーターレベルでは困難であった.しかしながら,加工部位近傍に目印として,数十ミクロン程度の,第二の加工部位を形成しておくことにより,これは可能となることがわかった.以上の結果をもとに,加工部位の構造転写について,目下研究続行中である.

Micromirrors, surface micromachining, and structural stability. The reproducibility of surface processing is poor when the substrate is tested. Gold, processing comparison easy. The diameter, height and height of the ridge are possible. It is confirmed that the surface of the ridge is stretched and disappeared. Finally Si, reproducibility An example of this is shown on the right. The word is used. Processing text The width of the letter is about 30nm. The sample substrate can be processed in any shape, and the structure can be stabilized. Now that this Si sample is used, it is possible to adjust the surface processing process by probing it out on the substrate. Add work to the list. In addition, the processing position is close to the eye print, dozens of degrees, and the second processing position is formed. The above results are related to the structure of the machined parts.