课题基金 / 基金详情

極微弱磁界検出用マイクロフラックスゲート磁気センサの試作研究

極微弱磁界検出用マイクロフラックスゲート磁気センサの試作研究
检测极弱磁场的微磁通门磁传感器原型研究
批准号：
07555128
负责人：
川人 祥二
金额：
$1.73万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07555128/
关键词：
フラックスゲートセンサマイクロ磁気センサ微弱磁界検出マイクロコイル

项目摘要

项目成果

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本研究者は、最近フラックスゲート磁気センサをシリコンプロセスと薄膜軟磁性材料により超小型で実現するマイクロフラックスゲート磁気センサと称する磁気センサを世界に先駆けて開発した。これまで改良を進め、その性能の高さが徐々に明らかになってきており、その潜在的性能は、極めて高いと考えている。また超小型・軽量・大量生産が容易、信号処理回路の集積化が可能等、従来にない種々の特長を有している。もし、このマイクロ磁気センサの改良によって、SQUID磁束計でのみ検出可能な微弱磁界を検出する素子が実現できれば、常温で動作する点だけを考えても画期的成果となる。本研究では、これまで得られた成果を背景として、素子構造の最適化及び磁性薄膜の特性善を行い、その優れた性能を実証すべく改良素子の試作を行うことを目的とした。素子構造としては、励磁コイルと検出コイルを密結合した構造が高感度化において有効であることを磁場解析により明らかにした。また磁性薄膜については、素子作成時に生じる熱処理工程での劣化を低減するための少量のInを添加した電着磁性薄膜の形成を試み、大幅な特性改善が得られた。これらの基礎的な検討に基づき、実際にマイクロフラックスゲート素子を試作した。その結果、2700V/Tという極めて高い磁気検出感度と、0.6nT/√Hz(DC〜10Hz)の検出分解能が達成された。これは、マイクロ構造の磁気検出素子でナノテスラオーダーの分解能を実現した初めての結果である。
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
S.Choi et al.: "An integrated micro fluxgate magnetic sensor" Sensors and Actuators. (in press). (1996)
S.Choi 等人：“集成微磁通门磁传感器”传感器和执行器。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
M.Sutoh,et al.: "A micro-fluxgate maghetic sensing element using electro deposited NiFeIn films" Tech. Dig.,13th Sensor Symp.101-104 (1995)
M.Sutoh 等人：“使用电沉积 NiFeIn 薄膜的微磁通门磁传感元件”Tech。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
光子・電子両相制御原理に基づく革新的時間分解撮像デバイスの創製
  • 批准号：
    24H00313
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $31.03万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    川人 祥二
  • 依托单位：
    Shizuoka University
超高速ハイブリッドカスケード光電荷変調による極限時間分解撮像デバイスの研究
  • 批准号：
    18H03777
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $28.54万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    川人 祥二
  • 依托单位：
    Shizuoka University
ラテラル電界制御電荷変調素子による超高時間分解撮像デバイスの研究
  • 批准号：
    25249045
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $8.24万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    川人 祥二
  • 依托单位：
    Shizuoka University
極めて高い時間分解能と振幅分解能を有する撮像デバイスに関する研究
  • 批准号：
    12F02365
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    川人 祥二
  • 依托单位：
    Shizuoka University
海外基金