Der Einfluß von intrinsischen Verspannungen auf die Oberflächenmorphologie bei der Si/Ge Heteroepitaxie

Si/Ge异质外延中内应力对表面形貌的影响

• 批准号: 5271276
• 负责人: Professor Dr. Michael Horn-von Hoegen
• 金额: --
• 依托单位: Dekanat Fakultät für Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5271276?language=en
• 关键词: Der; Einflu; von; intrinsischen; Verspannungen

Der Aufbau der Apparatur ist mit ersten Messungen am Modellsystem Ge auf Si(111) in der ersten Projektphase erfolgreich abgeschlossen worden. Damit steht jetzt als einmalige Besonderheit die Kombination der in situ Verspannungsmessung (SSIOD) zusammen mit der in situ hochauflösenden Elektronenbeugung (SPA-LEED) für weitergehende Untersuchungen zur Verfügung. Damit soll nun erstmalig bei einem gitterfehlangepaßten Heterosystem die Beeinflussung und wechselseitige Abhängigkeit von Oberflächenmorphologie und intrinsischen in-plane Verspannungen gleichzeitig mit beiden Methoden während des Wachstums untersucht werden. Dies ist von besonderer Bedeutung für die quantitative Analyse der Dynamik der Relaxationsprozesse. Neben der plastischen Entspannung durch Versetzungsbildung werden im pseudomorphen Wachstumsstadium verschiedene elastische Entspannungsmechanismen beobachtet. Die Effektivität dieser Mechanismen zur Spannungsrelaxation sollen in Abhängigkeit von der Ge Schichtdicke, dem Legierungsverhältnis x von GexSi1-x Legierungen und der Substrattemperatur untersucht werden. Durch die Adsorption verschiedener Surfactants kann diese in-plane Verspannung noch zusätzlich entweder teilweise kompensiert oder verstärkt werden, wodurch z.B. wiederum die Entstehung von Versetzungen verzögert einsetzt. Neben der Bedeutung für technologische Anwendungen erlauben diese Untersuchungen grundlegende und aktuelle Fragestellungen des Wechselspiels von Verspannung und Morphologie zu behandeln. Aufgrund des umfangreichen Forschungsprogramms soll das Projekt für eine Laufzeit von drei Jahren beantragt werden.

(1)在仪器学研究领域的研究进展[j] .仪器学研究领域的研究进展。Damit steht jetzt als einmalige Besonderheit die combination der in situ Verspannungsmessung (SSIOD) zusammen mit der in situ hochauflösenden Elektronenbeugung (SPA-LEED) f<e:1> r weitergehende Untersuchungen zur verf<e:1> gung。Damit solit unitym erstmalig beitterfehlangepa ßten异质系统die beitinflussung und wehselseitige Abhängigkeit von Oberflächenmorphologie and intrinsischen in-plane Verspannungen gleichzetig mit beiten Methoden während des Wachstums untersucht werden。动力学与弛豫动力学的定量分析。塑性力学与弹性力学的研究。[1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1]。Durch die吸附verschiedener表面活性剂kann diese平面内Verspannung noch zusätzlich entweder teilweise kompensiert oder verstärkt werden， wodich z.B. wiederum die Entstehung von Versetzungen verzögert einsetzt。在科学技术研究中，科学技术研究是一个重要的领域，科学技术研究是一个重要的领域。该项目被称为“科学研究计划”（project jekt f<s:1>）。