その場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する研究
その場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する研究
原位测量方法研究纳米粒子的生长机理
批准号：
07750077
负责人：
福澤 剛
金额：
$0.64万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
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本研究では,シランプラズマ中の微粒子の核発生と初期成長過程を調べることを目的とし,新たに創案した光脱離法,光イオン化法を用いて高周波シランプラズマ中のサブナノSi微粒子の成長過程を調べ,以下の成果を得た.1)新たに創案した光脱離法,光イオン化法を用いることによって,従来できなかったサブナノSi微粒子成長のその場観察を可能とした.2)高周波シランプラズマ中のサブナノSi微粒子は核発生,初期成長の段階から,短寿命ラジカル密度の高い高周波電極側のプラズマシース境界領域で成長することを見出した.3)放電周波数を6.5から28MHzに増加すると,短寿命ラジカルの発生が増加し,それに伴いサブナノSi微粒子の成長速度も速くなることを見出した。4)2),3)の結果は,短寿命ラジカルが微粒子発生のキ-ラジカルであり,しかも,一つの微粒子の発生に短寿命ラジカルが多数個関与していることを示唆している.
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福澤 剛: "Growth processes of small particulates in silane plasmas" Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 385-388 (1995)
Tsuyoshi Fukuzawa：“硅烷等离子体中小颗粒的生长过程”第 12 届等离子体处理研讨会论文集。12. 385-388 (1995)。
Tsuyoshi Fukuzawa：“硅烷等离子体中小颗粒的生长过程”第 12 届等离子体处理研讨会论文集。12. 385-388 (1995)。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Yukio Watanabe: "Contribution of short lifetime radicals to growth of particles in SiH_4 HF discharges and effects of particles on deposited films" Journal of Vacuum Science & Technology A. (印刷中). (1996)
Yukio Watanabe：“短寿命自由基对 SiH_4 HF 放电中粒子生长的贡献以及粒子对沉积薄膜的影响”Journal of Vacuum Science & Technology A.（出版中）。
Yukio Watanabe：“短寿命自由基对 SiH_4 HF 放电中粒子生长的贡献以及粒子对沉积薄膜的影响”Journal of Vacuum Science & Technology A.（出版中）。
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
白谷 正治: "光イオン化法によるシランプラズマ中微粒子の検出" 応用物理学会九州支部講演会講演予稿集. 21. 127-128 (1995)
Masaharu Shiratani：“使用光电离法检测硅烷等离子体中的细颗粒”日本应用物理学会九州分会会议记录 21. 127-128 (1995)。
Masaharu Shiratani：“使用光电离法检测硅烷等离子体中的细颗粒”日本应用物理学会九州分会会议记录 21. 127-128 (1995)。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
福澤 剛: "光脱離法による高周波シランプラズマ中微小微粒子の検出" 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集. 191 (1995)
Tsuyoshi Fukuzawa：“通过光解吸法检测高频硅烷等离子体中的微粒”电气工程学会九州分会会议记录191（1995）。
Tsuyoshi Fukuzawa：“通过光解吸法检测高频硅烷等离子体中的微粒”电气工程学会九州分会会议记录191（1995）。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
福澤 剛: "シランプラズマ中微粒子の初期成長過程に及ぼす放電周波数の影響" 応用物理学会九州支部講演会講演予稿集. 21. 125-126 (1995)
Tsuyoshi Fukuzawa：“放电频率对硅烷等离子体中细颗粒初始生长过程的影响”日本应用物理学会九州分会论文集 21. 125-126 (1995)。
Tsuyoshi Fukuzawa：“放电频率对硅烷等离子体中细颗粒初始生长过程的影响”日本应用物理学会九州分会论文集 21. 125-126 (1995)。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 7 条
新しいクラスタ検出法によるメタンプラズマ中炭化水素クラスタの成長過程観察
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批准号：15740330
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$1.86万
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财政年份：2003
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负责人：福澤 剛
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依托单位：
メタンプラズマ中に発生する炭化水素クラスタの検出
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批准号：13780390
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$1.34万
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财政年份：2001
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负责人：福澤 剛
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依托单位：
イオンシース及びプラズマ中での単一微粒子挙動の研究
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批准号：11780348
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$1.47万
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财政年份：1999
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负责人：福澤 剛
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依托单位：
新しいその場測定法によるナノメータサイズ微粒子の成長機構に関する実験的研究
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批准号：06750063
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1994
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负责人：福澤 剛
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依托单位：
海外基金