固相拡散接合に基づくマイクロファクトリの研究

基于固相扩散连接的微工厂研究

• 批准号: 07750139
• 负责人: 田中 繁一
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07750139/
• 关键词: 接合; 焼結

固相拡散接合は,母材への影響が小さい非常にクリーンな究極の接合技術の1つとして研究が盛んに行なわれている.一方,マイクロマシンが近年注目され,様々な加工法が研究されている.しかし,その組み立てとくに接合技術については研究が少ない.このような微細部品の接合には上述のようなクリーンな手法が最適かつ不可欠である.そのような状況下で,顕微鏡下で微小機械要素の固相拡散接合の観察あるいは試験が実施できるマイクロファクトリ(超小型組み立て工場)の試作を行ない,理論およびシミュレーション構築のための基礎資料を充足することを目的として,本研究は実施された.得られた成果などは以下のとうりである.(1)加熱ステージを開発した.本ステージは,タンタル線の抵抗加熱に基づくもので,直径7mmの作業面積をもち今回の昇温試験では短時間に,約1000℃まで加熱可能であることを確認した.(2)試料を保持するためのマニピュレータを開発した.本マニピュレータは,圧電素子の作動変位を2段の×10のてこにより増幅するもので,およそ0.1mm程度の試料を保持することが可能である.(3)保持した試料を位置決めするための移動メカニズムを開発した.本メカニズムは2次元のインパクトドライブ機構を利用したものである.(4)(1)〜(3)は走査型電子顕微鏡内での作動を考慮されている.(5)残された課題は:試料の位置決め機構の制御.加熱ステージの高機能化.などである.

Solid phase diffusion bonding, base metal bonding effect is very small, very important, the ultimate bonding technology is very important. A new method of processing has been studied in recent years. In addition, the joint technology has been researched and developed. The bonding of fine parts is the most suitable method for the above mentioned joints. In this paper, the experimental study of solid phase dispersion bonding of micromechanical elements under microscope was carried out, and the basic data of theory and construction of micromechanical elements were sufficient. The results are achieved as follows. (1)The heating system is open. The temperature of the wire is about 1000 ℃, and the temperature of the wire is about 1000℃. (2)Try to keep it open. This is the case when the voltage element is actuated in two stages and the amplitude is increased by 0.1 mm. (3)Keep the sample position determined. Move the sample to the right position. This is the first time I've ever seen a woman. (4)(1)~(3) The action in the electron microscope is considered. (5)The problem is: sample location determination and mechanism control. High functionality of heating system.などである.