形状誤差と運動誤差の分離によるエアスピンドルの回転運動精度の超精密測定

分离形状误差和运动误差,超精密测量空气主轴旋转运动精度

基本信息

  • 批准号:
    07750158
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.7万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 财政年份:
    1995
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1995 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

数ナノメータの精度でエアスピンドルの回転精度を測定するするために,本研究では,まずナノメートルの精度を持つ直交型混合法用光学式センサを試作し,その基本特性を調べた.センサは直角に配置される変位プローブと角度プローブからなる.試料の真円度形状とエアスピンドルの回転運動誤差をナノメートルオーダの精度で分離して測定するために,分離能が1nmと0.01″の変位と角度プローブが必要になる.その要求に満たすことのできるものとして,本研究では,臨界角の原理を利用する変位プローブと角度プローブを用いることにした.変位プローブと角度プローブは類似の光学原理のものを利用することで,温度ドリフト特性などを揃えることをもねらう.角度プローブを高感度にするため,臨界角プリズムの初期反射率を0.80にした.また,角度プローブの光ビーム径に合わせるため,変位プローブのワイドレンジを使った.それぞれ容量型変位計と光電式オートコリメータを基準にして,変位プローブと角度プローブをそれぞれ±1.2μm,±25arcsecの範囲で校正した結果,3次近似曲線からの当てはめ誤差はどちらも測定範囲の±0.5%以内となった.なお,プローブの安定性を調べた実験結果から,20秒間の測定時間において,変位プローブと角度プローブとも分解能のレベルの安定性を保てることが分かった.次に,直径1インチのマスター球をエアスピンドルに取り付け,直交型混合法によるエアスピンドルの回転運動誤差及びマスター球の真円度形状の測定を行った.測定結果から,全空間周波数にわたってナノメータの精度で両者測定できる見通しを得た.
In order to determine the precision of the optical equation for orthogonal hybrid method, the basic characteristics of the optical equation for orthogonal hybrid method were adjusted. The right angle configuration is the right angle configuration. The true shape of the sample and the error of the return motion of the sample are determined by the accuracy of the separation, and the separation energy is 1nm and 0.01 ". This study is based on the principle of critical angle. The angle of rotation is similar to that of the optical principle. Angle: High sensitivity, critical angle: Initial reflectivity: 0.80. For example, if you want to change the angle, you can change the angle. The calibration results of the cubic approximation curve are within ±1.2μm,±25arcsec and the error of the measurement is within ±0.5%. The results show that the stability of the film can be adjusted by the measurement time of 20 seconds, and the stability of the film can be maintained by the angle of decomposition. Second, the diameter of the ball is determined by the orthogonal hybrid method. The measurement results show that the frequency of the whole space wave is determined by the accuracy of the measurement.

项目成果

期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
W. Gao, and S. Kiyono: "On-machine Measurement of Roundness by a New Multi-probe Method" Proceedings of Intematinal Conference on Precision Engineering '95. 454-457 (1995)
W. Gau 和 S. Kiyono:“通过新的多探针方法进行圆度的机上测量”国际精密工程会议 95 论文集。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

高 偉其他文献

光学式3軸角度センサの小型化に関する研究
光学三轴角度传感器小型化研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    丸山 泰司,清水 裕樹;伊東 聡;高 偉
  • 通讯作者:
    高 偉
形状測定機能を持つナノ加工プローブの研究-加工プローブにおける加工評価実験-
具有形状测量功能的纳米探针研究-加工探针的加工评价实验-
SEM画像の統計処理に基づく多孔質ジルコニア溶射皮膜の3次元ミクロ構造モデリングとマルチスケールシミュレーション
基于SEM图像统计处理的多孔氧化锆热喷涂涂层三维微观结构建模和多尺度模拟
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    丸山 泰司,清水 裕樹;伊東 聡;高 偉;鈴木智洋,高野直樹,宮内勇馬
  • 通讯作者:
    鈴木智洋,高野直樹,宮内勇馬
形状測定機能を持つナノ加工プローブに関する研究-機上形状計測加工実験-
具有形状测量功能的纳米探针研究-在机形状测量加工实验-

高 偉的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('高 偉', 18)}}的其他基金

光周波数コムを用いたピコラジアン級次世代ファブリペロー絶対角度計測法の創出
使用光学频率梳创建皮拉迪级下一代法布里-珀罗绝对角度测量方法
  • 批准号:
    24K00771
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測
光梳尺寸转换光学器件创建及原位自主标定方法实现亚原子级三维超精密测量
  • 批准号:
    20H00211
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
2軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出
利用两轴干涉网格驻波批量传输和自主精度保证创建下一代光学纳米网格标准
  • 批准号:
    15H02212
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
ダイヤモンドマイクロ切削工具エッジ形状のサブナノメートル超高精度計測法の研究
金刚石微切削刀具刃形亚纳米超高精度测量方法研究
  • 批准号:
    15F15060
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
ナノチューブを用いた次世代3次元ピコインデンターチップに関する研究
使用纳米管的下一代 3D pico denter 芯片的研究
  • 批准号:
    16656079
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
マイクロ角度センサアレイを用いた微小癌触診用小型硬さ分布測定プローブの開発
使用微角度传感器阵列开发用于微癌触诊的紧凑型硬度分布测量探头
  • 批准号:
    14655095
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
ソフトウェアデータムによる真円度・直径の機上同時計測に関する研究
利用软件数据在机同步测量圆度和直径的研究
  • 批准号:
    11750090
  • 财政年份:
    1999
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
エアスピンドルの3次元エラーモーションの動的超精密測定
空气主轴3D误差运动的动态超精密测量
  • 批准号:
    08750161
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    $ 0.7万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了