Optimierte Lawinenlaufzeitdioden

优化的雪崩延迟二极管

基本信息

项目摘要

In diesem Vorhaben sollen Lawinenlaufzeitdioden in Modulbauweise weiterentwickelt werden, um leistungsstarke, mechanisch stabile, thermisch belastbare und reproduzierbare Bauelemente für das Teilprojekt Cl liefern zu können. Dazu sind neue Wafer zu prozessieren, die mit der Zielsetzung, ein robustes Dotierungsprofil mit einem (betragsmäßig) möglichst großen Realteil der Diodenimpedanz zu realisieren, hergestellt werden. In diesen Prozessierungen soll die Minimierung des Serienwiderstandes der Module unter Anwendung unterschiedlicher metallischer Kontaktsysteme untersucht werden. Bei der Aufbondung der fertig prozessierten Diodenmodule ist die Realisierung von Kontakten mit kleinem Wärmewiderstand zu optimieren. Die Charakterisierung der fertigen Bauelemente soll in einem Hohlleiterresonator erfolgen, der auf die gegenüber konventionell gehäusten Dioden stark veränderten, parasitären Einflüsse des Diodenmoduls zugeschnitten ist.
在这种情况下,模块化设计中的Lawinenlaufzeitdioden weiterentwickelt韦尔登,um leistungsstarke,mechanisch stabile,thermisch belastbare and reproduzierbare Bauelemente für das Teilprojekt Cl liefern zu können。大足是一个新的晶圆制造商,它具有Zielsetzung,一个坚固的多功能轮廓,带有一个非常大的二极管阻抗,可以实现韦尔登。在这一过程中,我们将采用最小化的系列宽标准模块,以确保金属接触系统的可靠性。Bei der Aufbondung der fertig prozessierten Diodenmodule ist die Realisierung von Kontakten mit kleinem Wärmewiderstand zu optiieren. Die Charakterisierung der fertigen Bauelemente soll in einem Hohlleiterresonator erfolgen,der auf die gegenüber conventionell gehäusten Dioden stark veränderten,parasitären Einflüsse des Diodenmodules zugeschnitten ist.

项目成果

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