事的用干渉率の極めて小さい一体型3軸精密位置決めテーブルの試作研究

极低干扰率一体化三轴精密定位工作台样机研究

• 批准号: 08555043
• 负责人: 吉村 靖夫
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Tokyo National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08555043/
• 关键词: 干渉率; XYZテーブル; 圧電素子; 一体型; 位置決め

1.機構の設計複合平行ばねは、駆動方向と直角な方向(例えば、X方向に対して、Y,Z方向)への変位は零となるという特徴を持っている。この特徴をX,Y,Z3軸方向に適用すると、一体構造でありながら、必要とする駆動方向の変位以外は動かないという興味ある機構が構成される.2.X,Y,Zテーブルでありながら、一体構造で上記の目的を果し、しかも、大きな移動ストロークを持つ機構は一見複雑な形状となる、この機構の製作はワイヤカット加工を以ってしか達成しえない.この製作を実行できた.3.機構の基本は小さい立方体(約25mm角)と大きい立方体(約50mm角)を弾性ばねで連結し、1.の条件に合う機能を持たせたことである.テーブルの駆動は、X,Y,Z軸方向共にPZT(圧電素子2×3×18mm)を用いた4.X方向に駆動したときのY,Z方向へのずれ、同様に、Y,Z方向に駆動したときの、X,ZおよびX,Y方向のテーブルとのづれを無接触センサ(0.01μm分解能)を用いて測定した、その結果、良いデータで1%以下悪い場合で8%のづれとなった.

1. The design of the mechanism is composed of parallel and vertical directions (e.g., X direction, Y direction,Z direction) and vertical positions. Features: X, Y, Z 3-axis direction applicable, integral structure, structure, 3. Basic structure of small cube (about 25mm angle) and large cube (about 50mm angle). PZT(piezoelectric element 2×3×18mm) in X,Y and Z axis directions is measured in 4. X direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. Y direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. Y direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. Y, Z direction is measured in 4. X, Z direction is measured in 4. X direction is measured in 4. X direction is measured in

项目成果

Y.YOSHIMURA: "Piezo-driven One-piece XYZ Table with Low Mutnal Interfevences" MIPE The Imternational Caforence on Micro-mechatronics for Intormation and Precision Equipment. 予稿集. (1997)

Y.YOSHIMURA：“具有低相互干扰的压电驱动一体式 XYZ 工作台”MIPE 国际微机电一体化信息和精密设备会议录（1997 年）。

吉村靖夫,楠田昌之,Y.Sahrd: "座屈変形を利用した変位拡大機構について" 1997年度精密工学会春季大会講演論文集. (1997)

Yasuo Yoshimura、Masayuki Kusuda、Y. Sahrd：“On a disposition magnificationmechanism using bucklingforming”1997 年日本精密工程学会春季会议论文集（1997 年）。