微小領液高感度三次元分析法の研究

微量液体高灵敏三维分析研究

• 批准号: 08650960
• 负责人: 尾張 真則
• 金额: $ 1.22万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650960/
• 关键词: 収束イオンビーム; 二次元イオン質量分析法; 三次元元素分布解析; 微細加工

本研究は,収束イオンビームを用いた微小領域を対象とする高感度三次元現存分布解析手法を確率することを目的としている。ガリウム液体金属イオン源を用いることにより,直径0.1ミクロン,電流密度1A/cm^2程度の高感度収束イオンビームを得ることができる。このイオンビームは走査型イオン顕微鏡の観察用プローブ,高空間分解能二次元イオン質量分析法の一次ビームとして利用できるほか,ミクロン以下の微小な領域で試料を0.1ミクロン以下の精度で切削加工することにも用いることができ,これらの機能を組み合わせることにより,微小領域の高感度二次元元素分布測定,微粒子の切断加工と断面観察などが試みられてきた。本研究では安定度ならびに精度高い収束イオンビーム走査制御系を設計試作することにより、断面加工と断面の二次元高感度元素分布分析を繰り返し行うことを可能とし,二次元元素分布の積層としての3次元元素分布解析を実現した。安定度ならびに精度の高いビーム走査系は,走査波形をデジタル信号で発生させ,デジタル-アナログ変換を介してビーム偏向アンプに供給することにより実現した。デジタル制御のフレキシビリティーを十分に生かすことにより,1フレームあたり20分の1秒から18時間までの広い走査速度範囲と1フレームあたり1024から16777216ピクセルの広い画数範囲を任意に選択することができ,また,走査領域に一部をビーム偏向アンプの条件変更無しで拡大精密走査することも可能とした。さらに1画素ごとに二次イオン質量スペクトルが得られるように,マルチチャンネル高速信号計数回路を組み込むことにより,二次元情報を無駄なく速やかに取得し,分析全体のスループットを大幅に向上させることができた。これらの結果,高感度三次元元素分布解析を実用性の高い高性能分析手法として実現せしめた。

In this study, we aim to determine the accuracy of the method for analyzing the existing three-dimensional distribution of high-sensitivity images in micro-domains. The liquid metal source has a diameter of 0.1 mm, a current density of 1A/cm^2, and a high sensitivity. Microscope for inspection, high spatial resolution energy, quadratic mass analysis method, first order use, high sensitivity, quadratic element distribution measurement in micro-domain, sample cutting accuracy below 0.1, micro-domain Microparticle cutting and cross-section inspection In this study, the stability and accuracy of the system are high, and the design of the system is tried out. The section processing and the analysis of the two-dimensional high-sensitivity element distribution of the section are possible. The analysis of the three-dimensional element distribution of the two-dimensional element distribution is realized. High stability and accuracy of the trace system, trace waveform detection signal generation, detection waveform detection signal transmission, detection waveform detection signal transmission signal transmission The search speed range of the search engine is 1024 minutes and 18 seconds. The search speed range of the search engine is 1677216 minutes and 18 seconds. The search engine is 10 minutes and 18 seconds. 1 pixel, 2 pixels, 3 pixels, 4 pixels, 4 pixels, 5 pixels, 6 pixels, 4 pixels, 4 pixels, 5 pixels, 6 pixels, 4 pixels, 6 pixels, 6 As a result, high-sensitivity three-dimensional element distribution analysis is practical and high-performance analysis methods are available.