ナノスケール低速電子回析装置の開発

纳米级慢电子衍射装置的研制

• 批准号: 10874047
• 负责人: 水野 清義
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 1999
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10874047/
• 关键词: 低速電子回析; 走査トンネル顕微鏡; 電界放射; 表面局所構造; 低速電子回折

本年度は以下の事柄を実行することができた。1.走査トンネル顕微鏡部の設計・製作と動作テスト本実験装置の開発にあたって、最も主要な走査トンネル顕微鏡部の設計・製作を行った。その際、(1)ピエゾ素子が回析電子の観察の邪魔にならない構造。(2)探針及び試料の部分はバネ吊り方式にして、大がかりな空気バネを使わなくていい設計。(3)試料表面垂直方向の移動量を大きくするため、インチワークを使用。(4)試料クリーニングのために受け渡しができる構造、などに配慮した。走査トンネル顕微鏡部の動作確認は大気中、HOPG試料を用いて行った。探針作成には、本研究のために製作した電解研磨装置を用いた。その結果、原子分解能は得られていないが、表面の形状を確認することができた。本研究の遂行には十分な性能が得られた。2.引き込み電極およびスクリーン部の設計・製作効率よく回析電子を引き込み、回析角度を反映した回析パターンを得ることができるように、昨年度購入したソフトを用いて入念に電子の軌道計算を行った。この結果を基に、円筒形の引き込みおよび収束電極と阻止電場型のグリッド電極を合わせ持ったスクリーン部の設計・製作を行った。組み立ても完了している。3.システム全体の組立走査トンネル顕微鏡部とスクリーン部を超高真空装置に取り付けることができた。スクリーン部の引き込み電極を探針-試料部の近くまで移動させる機構のチェックなどもほぼ終了しており、まもなく原理実験に取り組む予定である。

The following matters will be handled in the current year. 1. The operating system, the micro-computer design system, the operating system, the operating system, the micro-design system, the operating system, the micro-system, the micro-computer, the micro-design, the micro-design. The following are the following: (1) the computer system examines the creation of evil spirits, evil spirits and evil spirits. (2) in the exploration and equipment part, the hoisting method is used to design the design of the equipment. (3) the vertical movement of the material surface is used. (4) the materials should be manufactured and equipped with different materials. Make sure that the HOPG materials are used in the middle of the week. The purpose of this study is to use the electronic solution grinding device for the purpose of this study. The results of the results, the atomic decomposition energy, the surface shape and the shape of the surface were confirmed. In this study, the performance of this study is very high. two。 In this paper, the design of the computer system is introduced, and the angle of the analysis reflects that the system is in good condition. Last year, it was used to calculate the calculation of the computer system. The results show that the basic and cylindrical devices are used to prevent the electrical equipment of the electric power plant from being operated by the design of the equipment. The organization has finished its training session. 3. The whole group is set up to pay for the ultra-high vacuum equipment of the micro department. The Ministry of Materials and Materials is responsible for the transfer of electricity and electricity. The department of materials and materials is responsible for the transfer of electricity and electricity. The department of materials is responsible for the transfer of electricity.