脆性破壊に伴う発光現象を利用した脆性・延性モード加工の判別

利用与脆性断裂相关的发光现象区分脆性和延性模式加工

• 批准号: 10875034
• 负责人: 大塚 二郎
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Shizuoka Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 1999
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10875034/
• 关键词: 脆性材料; 脆性モード加工; 延性モード加工; 単結晶シリコン; 石英ガラス; フラクトルミネッセンス; 発光; 引掻試験

1.石英ガラスより成るグラスファイバを小径ダイヤモンド砥石で切断するとき,その際中に発生する光をグラスファイバ自身を通して光電子増倍管に導いたところ,波長λ=450,630nmのところのスペクトルが認められ,これらは文献よりS_iO_2に欠陥があるときの破壊の際の発光であり,切削や研削で脆性モードか延性モードかを発光の有無により判別できる可能性を示した。2.1998年に超精密正面施盤を製作し,石英ガラスを速度1.0m/s以上でダイヤモンド工具で切削してみたところ,切削による摩擦熱のための発光の影響が大きく,上記λ=450,630nmの発光がかくれてしまうので脆性モード,延性モードの判別はできなかった。3.微小変位台(1997年に製作)で単結晶シリコンをダイヤモンドバイトで切削したが,切削速度が遅すぎて何等発光は認められなかった。4.超精密正面施盤による単結晶シリコンの切削では,石英ガラス同様に両者の判別はできなかった。5.以上より,切削では脆性モードと延性モードの判別はできなかった,もっと感度波長領域の広い光電子増倍管を用いれば,判別ができる可能性はある。

1. Quartz ガ ラ ス よ り into る グ ラ ス フ ァ イ バ を path ダ イ ヤ モ ン ド strop で cut stone す る と き, そ の interstate in に 発 raw す る light を グ ラ ス フ ァ イ を バ itself through し て photoelectron raised times tube に guide い た と こ ろ, lambda = 450630 nm wavelength の と こ ろ の ス ペ ク ト ル が recognize め ら れ, こ れ ら は literature よ り S_iO_2 に owe 陥 が あ る と き の broken 壊 の interstate の 発 light で あ り, cutting や grind cutting で brittleness モ ー ド か ductility モ ー ド か を 発 light の presence of に よ り discriminant で き を る possibility in し た. 2.1998 years に ultra-precision positive ShiPan を し, quartz ガ ラ ス を speed 1.0 m/s above で ダ イ ヤ モ ン ド cutting tool で し て み た と こ ろ, cutting に よ る frictional heat の た め の 発 light の が affected き く, written lambda = 450630 nm の 発 light が か く れ て し ま う の で brittleness モ ー ド, ductility モ ー ド の discriminant は で Youdaoplaceholder0 な った. 3. Small - a platform (に produced 1997) で 単 crystallization シ リ コ ン を ダ イ ヤ モ ン ド バ イ ト で cutting し た が, cutting speed が 遅 す ぎ て how 発 light は recognize め ら れ な か っ た. 4. Ultra-precision front dial による単 crystallization シリコ <e:1> <s:1> cutting で った, quartz ガラス similar to に and <s:1> discrimination で で な な った った. More than 5. よ り, cutting で は brittleness モ ー ド と ductility モ ー ド の discriminant は で き な か っ た, も っ と wavelength sensitivity field の hiroo tube を use い い photoelectron raised times れ ば, discriminant が で き る possibility は あ る.

项目成果

越水重臣,大塚二郎: "石英ガラス研削加工時の発光現象"砥粒加工学会誌. (掲載待). (2000)

Shigeomi Koshimizu、Jiro Otsuka：“石英玻璃研磨过程中的光发射现象”磨料加工学会杂志（待出版）。

越水重臣,大塚二郎: "単結晶シリコンの微小押込試験(微小変形挙動と延性/脆性遷移領域の計測)" 精密工学会誌. 64, 11. 1643-1647 (1998)

小清水重臣、大冢二郎：“单晶硅的微压痕测试（微变形行为和延性/脆性转变区域的测量）”日本精密工程学会杂志 64, 11. 1643-1647 (1998)。

大塚二郎,秦誠一,下河辺明,越水重臣: "延性モード切削加工用の超精密変位台の開発"精密工学会誌. 64,4. 546-550 (1998)

Jiro Otsuka、Seiichi Hata、Akira Shimokawabe、Shigeomi Koshimizu：“用于延性模式切削的超精密位移台的开发”日本精密工程学会杂志 64, 4. 546-550 (1998)。

越水重臣,大塚二郎: "石英ガラス研削加工時の発光現象"1998年度精密工学会秋季大会学術講演論文集. 329 (1998)

Shigeomi Koshimizu、Jiro Otsuka：“石英玻璃研磨过程中的发光现象”1998 年日本精密工程学会秋季会议记录 329 (1998)。

"石英ガラスの研削時の発光現象"1998年度砥粒加工学会学術講演論文集. 163-166 (1998)

“石英玻璃研磨过程中的光发射现象”磨料加工学会1998年学术会议论文集163-166（1998）。