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シリコンマイクロマシニングプロセスの原子レベルシミュレーション

シリコンマイクロマシニングプロセスの原子レベルシミュレーション
硅微加工过程的原子级模拟
批准号:
98F00382
负责人:
佐藤 一雄
金额:
$1.09万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
1999
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1999 至 2000
关键词:

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シリコン結晶異方性エッチングを用いたMEMSの先進的設計とプロセス技術開発
  • 批准号:
    08F08053
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.02万
  • 财政年份:
    2008
  • 负责人:
    佐藤 一雄
  • 依托单位:
エネルギー伝送のためのマイクロストリップアンテナの研究-----マイクロマシン及びガン治療への応用
  • 批准号:
    01F00045
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.54万
  • 财政年份:
    2001
  • 负责人:
    佐藤 一雄
  • 依托单位:
内耳破壊後における中枢聴覚系でのシナプス伝達可塑性についての組織化学的研究
  • 批准号:
    11771024
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    佐藤 一雄
  • 依托单位:
ストレス刺激下における神経伝達物質を中心とした聴覚伝導系の適応に関する研究
  • 批准号:
    09771394
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $1.22万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    佐藤 一雄
  • 依托单位: