プロセス用プラズマの新しい診断法の開発

工艺等离子体新诊断方法的开发

• 批准号: 01F00067
• 负责人: 菅井 秀郎
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2001 至 2002
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-01F00067/
• 关键词: フラックスプローブ法; 熱プローブ; ラングミュアプローブ; シース; 負イオン; 静電レンズ効果; 反応性プラズマ; プラズマ診断

反応性プラズマは、ポリシリコンやシリコン酸化膜などの微細加工や薄膜のCVD、表面改質などに広く利用されている。しかし、プラズマ内の情報を測定する手段が乏しいために、反応の解明や制御が困難な状況にある。そこで「プロセス用プラズマの新しい診断法の開発」を研究テーマとして、次の4つの新しい計測用プローブの研究開発を行った。(1)フラックスプローブ法金蒸着した平面プローブをバイアスすると、イオンが当たった部分のみがスパッタされる。この現象を利用して、正・負イオンの密度、シース厚、ダスト組成などの情報を得ることができる。(2)熱プローブ法古典的なラングミュアプローブ法が印加電圧と電流の関係を測定するのに対して、熱プローブ法は印加電圧に対するプローブの温度変化を測定する。このデータからプラズマの電位、密度、負イオン等に関する情報を得ることができる。(3)シースレンズプローブ法シースのレンズ効果によりイオンが曲がることを利用して、負イオンの測定などを行うことができる。(4)誘電体プローブ法マイクロ波の誘電体損を利用して、プローブの温度変化を精密に測定してプラズマ中のマイクロ波の電界を局所的に測定する方法を開発した。

Anti-corrosion, anti-corrosion, anti-corrosion, anti- The information in the system is not available, and the system is difficult to control. The research and development of the new diagnostic method for the first time and the new diagnostic method for the second time were carried out. (1)The first part of the article is about the color of the film. This phenomenon is used to determine the density, thickness and composition of information. (2)The thermal analysis method is a classical method for determining the relationship between voltage and current. The information about the potential, density, and negativity of the film is obtained. (3)The results of the test are as follows: (4)A method for precisely measuring the dielectric loss of an electromagnetic wave by using the dielectric temperature variation of the electromagnetic wave is developed.

项目成果

Stamate E, Ohe K: "The influence of surface condition in Langmuir probe measurements"Journal of Vaccum Science and Technology. A20巻. 661-666 (2002)

Stamate E、Ohe K：“朗缪尔探针测量中的表面状况的影响”真空科学与技术杂志第 661-666 卷（2002 年）。

Stamate E, Ohe K: "Probe diagnostics of electronegative-plasmas with bi-Maxwellian electrons"Journal of Applied Physics. 89巻. 2058-2064 (2001)

Stamate E、Ohe K：“用双麦克斯韦电子探测负电等离子体”应用物理学杂志，第 89 卷，2058-2064 年（2001 年）。

Stamate E, Ohe K, Takai O, Sugai H: "Plasma Diagnostics by Detecting the Ion Flux Profile to a Biased Target"Surface and Coatings Technology. (印刷中). (2003)

Stamate E、Ohe K、Takai O、Sugai H：“通过检测偏置目标的离子通量轮廓进行等离子体诊断”表面和涂层技术（2003 年）。

Stamate E, Ohe K: "One the probe surface condition of Langmuir probes in reactive plasmas"Applied Physics Letters. 78巻. 153-155 (2001)

Stamate E、Ohe K：“反应等离子体中朗缪尔探针的探针表面状况”《应用物理快报》78. 153-155 (2001)。

Stamate E, Ohe K: "Response to "Comment on 'On the surface condition of Langmuir probes in reactive plasmas'""Applied Physics Letters. 79巻. 2665-2665 (2001)

Stamate E、Ohe K：“对‘关于反应等离子体中朗缪尔探针的表面状况’的评论”的回应”《应用物理快报》79. 2665-2665 (2001)。