CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden

Metallorganische Substanzen finden immer mehr Verwendung als leicht zu verdampfende "single-source" Vorstufen fr metalloxidische Materialien。纳米纳米材料中ZnO的合成和deren的沉积[j] [Oberflächen]。[中文][中文]：银和硅取代基的系统变化，热稳定衍生物的合成和发展[Zersetzungseigenschaften] [Festkörper]。1 .气相动力学研究，颗粒动力学研究<e:1>，气体动力学研究Gerhard-Mercator-Universität。纳米晶氧化锌颗粒的制备及结构研究[j]。ZnO粒子的光学特性与光学特性的关系是：ZnO粒子的光学特性与光学特性的关系。

Metallorganische Substanzen finden immer mehr Verwendung als leicht zu verdampfende "single-source" Vorstufen für metalloxidische Materialien. Die von der Ruhr-Universität-Bochum hergestellten flüchtigen, molekularen ZnO-Vorstufen werden im Hinblick auf eine Synthese von ZnO und deren Deposition in nanoskalierter Form auf Oberflächen untersucht. Durch systematische Variation der Substituenten am Zink und Silicium sollen neue, thermolabile Derivate synthetisiert und deren Zersetzungseigenschaften auch im Festkörper untersucht werden. Die Untersuchung der Zersetzung der Verbindungen in der Gasphase, die zur Partikelbildung führt, ist Gegenstand der Arbeiten der Gerhard-Mercator-Universität. Im Vordergrund steht dabei die Bestimmung der Partikelgrößenverteilung und Struktur der entstandenen nanokristallinen ZnO Partikel. Die ZnO Partikel werden auf ihre potentielle Eignung für Gassensoren oder in sehr dünnen Schichten mit einstellbaren optischen Eigenschaften untersucht.