CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden

通过分子金属硅氧化物的热解实现纳米晶金属氧化物层的CVS

• 批准号: 5313348
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Frank Einar Kruis
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Nanostrukturtechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5313348?language=en
• 关键词: CVS; von; nanokristallinen; Metalloxid; Schichten

Metallorganische Substanzen finden immer mehr Verwendung als leicht zu verdampfende "single-source" Vorstufen für metalloxidische Materialien. Die von der Ruhr-Universität-Bochum hergestellten flüchtigen, molekularen ZnO-Vorstufen werden im Hinblick auf eine Synthese von ZnO und deren Deposition in nanoskalierter Form auf Oberflächen untersucht. Durch systematische Variation der Substituenten am Zink und Silicium sollen neue, thermolabile Derivate synthetisiert und deren Zersetzungseigenschaften auch im Festkörper untersucht werden. Die Untersuchung der Zersetzung der Verbindungen in der Gasphase, die zur Partikelbildung führt, ist Gegenstand der Arbeiten der Gerhard-Mercator-Universität. Im Vordergrund steht dabei die Bestimmung der Partikelgrößenverteilung und Struktur der entstandenen nanokristallinen ZnO Partikel. Die ZnO Partikel werden auf ihre potentielle Eignung für Gassensoren oder in sehr dünnen Schichten mit einstellbaren optischen Eigenschaften untersucht.

Metallorganische Substanzen finden immer梅尔Verwendung als leicht zu verdampfende“single-source”Vorstufen für metaloxidische Materialien.德国波鸿鲁尔大学的研究表明，ZnO-Vorstufen韦尔登分子在Hinblick上合成了ZnO，并以纳米形式沉积在Oberflächen。通过锌和新硅取代基的系统变化、热不稳定衍生物的合成和Zersetzungseigenschaften auch im Festkörper untersucht韦尔登。对气相中微球的研究是Gerhard-Mercator-Universität大学的一项研究。Im Vordergrund steht dabei die Bestimmung der Partikelgrößenverteilung und Struktur der entstandenen nanokristallinen ZnO Partikel. ZnO颗粒韦尔登具有发光的潜力，可用于气体传感器，也可用于具有光学特性的小型传感器。