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クラスター流体雰囲気におけるナノプラズマの発生とそのメカニズム解明

クラスター流体雰囲気におけるナノプラズマの発生とそのメカニズム解明
团簇流体气氛中纳米等离子体的产生及其机制的阐明
批准号:
02J07967
负责人:
伊藤 剛仁
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
2002
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2002 至 2003

项目摘要

项目成果

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二酸化炭素クラスター流体雰囲気(超臨界二酸化炭素雰囲気)において1μmギャップのタングステンマイクロ電極を用いた放電を行い、その放電開始電圧の温度、圧力依存性を測定した。結果として得られた32.5℃、35℃、40℃における放電開始電圧曲線から、臨界点付近において確認されていた放電開始電圧の谷が、温度依存性を持ち、温度の上昇とともに、谷の大きさが減少、位置が高圧力側にシフトする現象が確認された。同時に、3MPa付近における放電開始電圧曲線の変化(折れ)も確認された。放電開始電圧の谷は、気体雰囲気における一般的な放電理論である、「気体の放電理論」と、クラスタリングといった現象を顕著に表す「密度揺らぎ」を用いて解析を行い、放電開始電圧の谷と、クラスタリングとの相関性を示唆してきた。更に、3MPa付近における「折れ」と、臨界点付近の谷は、マクロな電極(5μm,10μmギャップ電極)における測定では確認されなかったことから、電極表面の影響が大きくなるマイクロギャップ(大きな表面/バルク比)特有の現象であり、その原因として、電極表面(エッジ)からの電子放出に起因した、雰囲気における電子吸着を示唆した。この、新たな雰囲気であるクラスター流体プラズマを用いた応用研究の第一歩として、超臨界二酸化炭素を反応雰囲気とした、さらには唯一の炭素原料としたカーボンナノチューブや、カーボンナノポリヘドロンなどの、カーボンナノ構造物質の作製を行った。さらに、銅の有機金属(copperbis(diisobutyrylmethanate))を溶融し、還元剤としての水素を含む超臨界二酸化炭素雰囲気においてプラズマの発生を行うことで、ガス雰囲気ではその作製が確認できなかった、銅ナノ構造物質の作製を確認した。この違いは、超臨界流体雰囲気の高溶解性といった利点を反映した結果と考えられる。従来の熱による反応促進とは異なり、放電による本反応促進機構は、雰囲気の温度上昇を必要とせず、超臨界流体のもつ高密度性などの利点との融合が図りやすいといった利点を持つと期待される。
期刊论文(4)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T.Ito, H.Fujiwara, K.Terashima: "Decrease of breakdown voltages for micrometer-scale-gap electrodes for carbon dioxide near the critical point : temperature and pressure dependences"Journal of Applied Physics. 94. 5411 (2003)
T.Ito、H.Fujiwara、K.Terashima:“临界点附近二氧化碳微米级间隙电极击穿电压的降低:温度和压力依赖性”应用物理学杂志。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
T.Ito, H.Nishiyama, K.Terashima, K.Sugimoto, H.Yoshikawa, H.Takahashi, T.Sakurai: "Spectroscopic Study on a Thermoelectron-enhanced Microplasma Jet"Journal of Physics D : Applied Physics. 37. 445 (2004)
T.Ito、H.Nishiyama、K.Terashima、K.Sugimoto、H.Yoshikawa、H.Takahashi、T.Sakurai:“热电子增强微等离子体射流的光谱研究”物理学杂志 D:应用物理学。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
寺嶋和夫, 伊藤剛仁: "ナノプラズマ/マイクロプラズマの微細加工技術への応用"エレクトロニクス実装学会誌. Vol.5 No.6. 529 (2002)
Kazuo Terashima、Takehito Ito:“纳米等离子体/微米等离子体在微加工技术中的应用”《电子封装学会杂志》第 5 卷第 529 期(2002 年)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
T.Ito, K.Katahira, A.Asahara, S.A.Kulinich, K.Terashima: "Carbon system syntheses on a chip by multiple micrometer-scale plasma CVD"Science and Technology of Advanced Materials. in Press. (2004)
T.Ito、K.Katahira、A.Asahara、S.A.Kulinich、K.Terashima:“通过多微米级等离子体 CVD 在芯片上合成碳系统”《先进材料科学与技术》。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
金属有機構造体を用いたプラズマ生成活性種の選択的活用
  • 批准号:
    22K18700
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额:
    $4.16万
  • 财政年份:
    2022
  • 负责人:
    伊藤 剛仁
  • 依托单位:
海外基金