YAG高調波による透明体電極の環境調和型高効率作製法

YAG谐波透明电极的环保高效制造方法

基本信息

批准号：
14750089
负责人：
岡本康寛
金额：
$ 2.18万
依托单位：
Okayama University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

YAG高調波レーザを用いた透明体電極作製法について,レーザ光波長が加工特性に与える影響を検討するともに,その可能性を検討して以下のような所見が得られた.1.Nd : YAGレーザの基本波(λ1064nm),第2高調波(λ532nm),第3高調波(λ355nm)および第4高調波(λ波長266nm)をITO膜に照射したところ,第3および第4高調波レーザでは,光子エネルギーが大きく,基板であるガラスの吸収率も大きいことから,加工部の起伏が激しく良好な加工面を得ることができなかった.また,基本波ではガラスへ熱衝撃と思われるクラックが残存した.一方,第2高調波はガラス基板の透過率が高いことから,基板であるガラス材料へのダメージがほとんどなく,ITO膜のみを除去することが可能であった.そこで,以下では第2高調波レーザを用いて実験を行い,以下のような所見を得た.2.一定の平均出力で良好な加工溝形状を得るには,ディフォーカス距離とステージ送り速度を精密に制御する必要があった.3.ITO膜,ガラス基板の順にレーザ光を照射する表面照射法でディフォーカス量が大きい場合,加工溝中央にITO膜の未除去部分が存在するが,ガラス基板,ITO膜と逆の順にレーザ光を照射する裏面照射法を用いることで,その発生を抑制できた.4.第2高調波を用いた場合,裏面照射法の場合,溝周囲には盛り上がりが発生するが,適切な条件を選択することによりその発生を防ぐことができた.以上のように,Nd : YAG第2高調波レーザを用いることで,加工溝を介した絶縁状態を確立でき,レーザ加工によるITO膜の電極作製が可能であることがわかった.

关于使用YAG谐光激光器制造透明电极的方法，我们研究了激光波长对处理特性的影响，并检查了以下发现，并获得了以下发现。1.nd：iTO膜使用基本波（λ1064NM）的基本效应（λ1064NM），第二次Harmonic（λ5Harmonic（λ533），第三和第三次（λ533），第三和第三次（λ5332），λ532nmm）（λ532nm），第三和λ532nmm /λ53and /λ53和λ53and /λ53和λ53和λ53和λ。 YAG激光器的谐波（λ266nm），光子能量很大，玻璃的吸收率（即基材）很大，因此未能取消处理部分，并且未获得良好的处理表面。此外，由于玻璃基板的透射率对于第二个谐波而言很高，而且基板的玻璃材料几乎不会损坏，并且只能除去ITO膜。因此，在下面，第二个谐波激光器是我们使用ZA进行了一个实验，并找到了以下发现。2。为了获得具有恒定平均输出的良好加工凹槽形状，有必要精确控制散焦距离和阶段进料速率3。当在表面辐照方法中散焦量很大，其中激光照射按ITO膜和玻璃基板的顺序辐照时，在加工凹槽中心存在ITO膜的一部分，可以通过使用Backer辐射方法来抑制这种胶片的玻璃光辐照方法，以相反的顺序iTO. ITO. ITO。在使用第二个谐波时，如果是背部辐照方法，则在凹槽周围会发生崛起，但是通过选择适当的条件，可以预防。如上所述，如上所述：已经发现，通过使用YAG第二谐光激光，可以通过加工凹槽以及该膜的电力来确定隔热状态，并可以通过ito膜来制造lassers by laserers by laserers by laserers。