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One-by-oneドーピング法による特性ゆらぎのない極微半導体デバイスの実現
使用逐一掺杂方法实现无特性波动的超精细半导体器件
基本信息
- 批准号：14750240
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2002
- 资助国家：日本
- 起止时间：2002 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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