極薄金属膜の均質酸・窒化プロセスと高性能強磁性トンネル接合膜への応用に関する研究

超薄金属薄膜均匀氧化/氮化过程及其在高性能铁磁隧道结薄膜中的应用研究

基本信息

项目摘要

次世代固体メモリとして注目されている実用化間近の磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)における読み出し時のエラーレートの低減や高密度化や高速動作化のためには、強磁性トンネル接合(MTJ)において、高い磁気抵抗変化率を維持しつつ、接合抵抗を低減することが必要不可欠で、ピンホールなどの欠陥の少ない均一な組織を有する極めて薄い絶縁膜を作製しなければならない。本研究では、様々な酸化もしくは窒化プロセスを用いて、様々な金属材料の酸化膜もしくは窒化膜の高品質化を実現させることを目的としている。平成17年度は、巨大なトンネル磁気抵抗変化率が得られると予想されている、結晶質マグネシウム酸化物を絶縁層に用いたMTJの作製を試みた。マグネシウム酸化物絶縁層の形成方法として、一昨年度に確立したプラズマ酸化法・昨年度に確立したオゾン酸化法・反応性スパッタ法・直接成膜法などを用い、その構造について検討した。また積層膜の平坦化には、昨年確立した金属膜表面へのプラズマトリートメントを用いた。その結果、マグネシウム酸化物を絶縁層に用いたMTJの高結晶配向化・高平坦化を、生産プロセスに適合可能な熱酸化膜付きSiウエハ上、および生産プロセスとして使用されているスパッタ法を用いて初めて実現し、極めて高い磁気抵抗変化率を得た。本研究の今後については、本MTJをMRAMに適用すべく、接合抵抗の低減(マグネシウム酸化物絶縁層厚の低減)・強磁性層材料の最適化が挙げられる。
Next generation solid メ モ リ と し て attention さ れ て い る be used between the nearly の magnetic 気 ラ ン ダ ム ア ク セ ス メ モ リ (MRAM) に お け る 読 み when し の エ ラ ー レ ー ト の low cut や limited や high-speed action change の た め に は, strong magnetic ト ン ネ ル junction (MTJ) に お い て, high magnetic 気 い - resistance rate を maintain し つ を つ, joint resistance is low Reduction す る こ と が necessary do not owe で, ピ ン ホ ー ル な ど の owe 陥 の less な い uniform な organization を す る め extremely thin て い never try membrane を cropping し な け れ ば な ら な い. This study で は, others 々 な acidification も し く は smothering the プ ロ セ ス を with い て, others 々 な の acidification metal materials membrane も し く は smothering film の high-quality を be presently さ せ る こ と を purpose と し て い る. 17 year は pp.47-53, huge な ト ン ネ ル magnetic 気 resist - mineralization rate が ら れ る と to think さ れ て い る, crystalline マ グ ネ シ ウ ム acidification を never try layer に content with い た MTJ の cropping を try み た. マ グ ネ シ ウ ム acidification formation layer never try の way と し て, establishment of a yesterday's annual に し た プ ラ ズ マ acidification method, yesterday's annual に establish し た オ ゾ ン acidification method, inverse 応 sex ス パ ッ タ method, direct film-forming method な ど を い, そ の tectonic に つ い て beg し 検 た. ま た laminated membrane の wafer に は, yesterday in establishing し た metal film surface へ の プ ラ ズ マ ト リ ー ト メ ン ト を with い た. そ の results, マ グ ネ シ ウ ム acidification を never try layer に content with い た MTJ の high crystallization, match to the Gao Pingtan を, production プ ロ セ ス に suit may な hot acidification membrane pay き Si ウ エ ハ, お よ び production プ ロ セ ス と し て use さ れ て い る ス パ ッ を タ method with い て early め て be し, extremely め て high magnetic 気 い resistance - rate を た. This study の future に つ い て は, the MTJ を MRAM に applicable す べ く, joint resistance の low reduction (マ グ ネ シ ウ ム acidification thing never try の low cut) with a thick layer, strong magnetic material の optimization が 挙 げ ら れ る.

项目成果

期刊论文数量(10)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
高濃度オゾン酸化法による金属Al膜の酸化過程とそれを用いて作製した強磁性トンネル接合膜の磁気抵抗効果
高浓度臭氧氧化法金属Al薄膜的氧化过程及其制备的铁磁隧道结薄膜的磁阻效应
Radical nitridation of Al films for the barrier formation in ferromagnetic tunnel junctions
用于铁磁隧道结势垒形成的铝膜的自由基氮化
強磁性トンネル接合用バリア層材料
铁磁隧道结的势垒层材料
  • DOI:
  • 发表时间:
    2004
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    角田 匡清;吉村 哲;高橋 研
  • 通讯作者:
    高橋 研
吉村 哲, 角田 匡清, 尾形 聡, 高橋 研: "強磁性トンネル接合用Al薄膜の酸化過程とマイクロ波励起プラズマ中の酸化種との相関"日本応用磁気学会誌. 27巻・12号. 1130-1134 (2003)
Satoshi Yoshimura、Masakiyo Tsunoda、Satoshi Ogata、Ken Takahashi:“铁磁隧道结的 Al 薄膜的氧化过程与微波激发等离子体中氧化物质的相关性”,日本应用磁学学会杂志,第 27 卷。 12. 1130 -1134 (2003)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
トンネル型磁気抵抗素子、その製造方法およびその製造装置
隧道磁阻元件及其制造方法及其制造装置
  • DOI:
  • 发表时间:
    2004
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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吉村 哲其他文献

コンピュータ動作の基礎学習のためのビギナー向け教材開発
开发初学者学习计算机操作基础知识的教材
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    水谷広志;K. Srinivasa Rao;鄭富;吉村 哲;江川元太;木下幸則;齊藤 準;佐竹 聖樹;堺 三洋;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;野田 浩平;外山貴子;東畠 三洋;庄司 大;庄司 大;庄司 大;庄司 大;太田 隆
  • 通讯作者:
    太田 隆
反応性パルスDCスパッタリング成膜におけるBiFeO<sub>3</sub>系強磁性・強誘電薄膜の高品位作製の指針
使用反应脉冲直流溅射沉积高质量生产 BiFeO<sub>3</sub> 基铁磁和铁电薄膜的指南
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使用近场磁力显微镜对静磁场进行矢量分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    齊藤 準,李 正.,伊藤 亮一,江川 元太;吉村 哲
  • 通讯作者:
    吉村 哲
エキシマレーザークリーニング・アニールによるサファイア基板の再生利用
准分子激光清洗和​​退火回收蓝宝石衬底
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    水谷広志;K. Srinivasa Rao;鄭富;吉村 哲;江川元太;木下幸則;齊藤 準;佐竹 聖樹;堺 三洋;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;野田 浩平;外山貴子;東畠 三洋
  • 通讯作者:
    東畠 三洋
Visualization of pseudo acoustic impedance distribution on organ surface for minimally invasive surgery
微创手术器官表面伪声阻抗分布的可视化
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    水谷広志;K. Srinivasa Rao;鄭富;吉村 哲;江川元太;木下幸則;齊藤 準;佐竹 聖樹;堺 三洋;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;長澤 育郎;野田 浩平;外山貴子;東畠 三洋;庄司 大;庄司 大;庄司 大;庄司 大;太田 隆;小野 雅晃;堀井直宏;中島孝則;Satoki Zenbutsu
  • 通讯作者:
    Satoki Zenbutsu

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高濃度オゾン酸化法による酸化物ハーフメタルの形成と高性能トンネル接合膜の作製
高浓度臭氧氧化法氧化物半金属的形成及高性能隧道结薄膜的制备
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島状シード層導入による薄膜磁気記録媒体の結晶粒制御と低ノイズ化に関する研究
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    01J08201
  • 财政年份:
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  • 资助金额:
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