トリプルジャンクションにおける電子放出箇所の微視的観測

三结处电子发射位置的显微镜观察

• 批准号: 15760191
• 负责人: 山納 康
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Saitama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15760191/
• 关键词: 帯電分布測定; 真空沿面放電; トリプルジャンクション(三重点); 真空; 微視的観測; 電子顕微鏡; 電気光学効果

本年度は、真空中における絶縁物上の帯電分布測定の高度化を行った。トリプルジャンクションにおける電子放出箇所の微視的観測においては、帯電の測定精度の向上が必要であり、これまで問題となっていた帯電測定時における光学的ノイズの原因を調査した。その結果、ノイズの原因は、主に真空チャンバのガラス窓における多重反射が原因であることが判明した。真空チャンバのガラス窓を反射防止膜付きのものと交換することで、より一層の帯電測定の高精度化を図る予定である。また、トリプルジャンクションの微視的構造観測と帯電の同時観測においては、電子顕微鏡のレンズ系の調整中であり、現段階では未だ同時測定までには至っておらず、実験装置の改良中である。真空中における沿面放電時の帯電測定においては、正極性から電圧を印加した場合において、真空沿面放電の発生とその時の帯電分布の様子が明らかになり、更にその後、逆放電(バックディスチャージ)の観測にも成功した。また、負極性の沿面放電後の帯電分布を測定したところ、沿面放電直後(電圧印加時)の帯電分布とその後数msec経た後の帯電分布に違いが現れた。沿面放電直後においては、針電極周辺が負極性に帯電していたが、その後数msec経つと、何らかの原因により帯電の緩和が発生し、針電極の極近傍にのみ負極性の帯電が残り、その周辺に正極性の帯電が現れた。このような帯電分布は、これまで研究により発表されてきた帯電分布に酷似している。よって、本研究の結果がこれまでの研究の再現性を得ていること、更にこれまで不明であった放電直後の帯電分布が測定できるようになったことで、沿面放電後においても絶縁体上に帯電した電荷が変化していることが明らかになった。これらの結果は、真空中の沿面放電が発生する要因に帯電が密接に関係していることの裏付けであり、重要な知見であると思われる。

This year, the distribution of airborne objects in vacuum and vacuum has been measured to determine the height distribution. Please tell us that the micro-TV is emitted by the computer, that the accuracy of the measurement is necessary to improve the accuracy of the micro-TV, and that it is necessary to determine the accuracy of the micro-TV. The results, the cause, the main vacuum, the multiple reflection, the cause, the cause, the cause, The vacuum is used to prevent the reflection of the film. It is necessary to measure the precision and precision of the film. At the same time, the equipment of the micro-TV is not in the process of being tested, and the equipment is being improved at the same time. In the vacuum, when the air temperature is released along the surface, the temperature is measured, the vacuum is released along the surface, and the temperature is distributed in vacuum. After the vacuum, the temperature is measured, and after the vacuum is released along the surface, the temperature is distributed in the vacuum. The temperature distribution after the discharge of electricity along the plane, the measurement of the temperature distribution along the surface, the distribution of the temperature after the msec is printed along the plane, and the distribution of the temperature after the distribution of electricity. Put it directly along the surface, and you will be very careful. After that, you will find that the number of msec, why, how close you are, and how close you are. The distribution is similar to the distribution, the distribution is very similar to the distribution. The results of this study are as follows: the results of this study show that there are significant differences in the results of this study, and the results of this study are as follows: the results of this study show that there are significant differences between the two groups in the study, and the results of this study are as follows: in this study, the results of this study show that the results of this study show that there are significant differences between the two groups. The results show that it is necessary to make a close contact with each other in the vacuum, because it is important to know that it is important to know that it is important to pay for it.