In-situ帯電計測装置を備えた絶縁体からの二次電子電流測定システムの開発
配备原位电荷测量装置的绝缘体二次电子电流测量系统的开发
基本信息
- 批准号:17760226
- 负责人:
- 金额:$ 2.24万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2005
- 资助国家:日本
- 起止时间:2005 至 2006
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究では,電気光学的手法による帯電測定と二次電子放出係数測定を組み合わせて,絶縁体上の帯電電荷量と絶縁体からの二次電子電流を,その場で観測できるシステムを構築することを目的とする。この研究により測定が困難であった絶縁体上の帯電を,電気光学効果を利用することにより2次元的に測定でき,同一環境下に設置した二次電子電流測定系により,試料の移動を伴わないで,その場で測定できる点である。平成17年度は、ポッケルス素子による真空中における絶縁物上の帯電電位分布測定の高速度化および高精度化を行った。平成18年度は、それに引き続き試料台の改良を行うことで、絶縁体試料とポッケルス素子との密着性を上げることにより、絶縁体上の電位測定の高分解能化を行った。このような改良と昨年度に行った帯電計測の高速度化・高精度化により、より詳細な絶縁体上の帯電電位分布の測定が可能となった。真空中(In-situ)における電子ビームによる絶縁体上の帯電計測としては、供試試料にMulti-pulse電子ビームを照射し、試料からの二次電子電流を測定し、その電流の減衰特性から絶縁体の帯電度や帯電減衰度を測定した。この方法により、アルミナセラミックス等の各種絶縁体の真空中における帯電特性の評価を行った。
This study aims to combine electro-optical methods for the measurement of electron emission coefficient and the measurement of electron charge on insulator with the measurement of electron emission coefficient in insulator. This study is difficult to determine, and the use of dielectric and electro-optical effects in the measurement of secondary electron currents in the same environment, and the movement of the sample. In 2017, the rapid and accurate measurement of the potential distribution on the substrate was carried out in vacuum. In 2018, the improvement of the sample table was carried out, and the high decomposition energy of the potential measurement on the insulation sample was carried out. This paper introduces the improvement of the measurement speed and accuracy of the electric potential distribution on the substrate. Measurement of electron current on insulator in vacuum (In-situ), measurement of secondary electron current on sample, measurement of electron current attenuation characteristics, measurement of electron current attenuation on insulator, measurement of electron current attenuation. This method is used to evaluate the dielectric properties of various insulators in vacuum.
项目成果
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