レーザー生成プラズマによる極端紫外光源の開発に関する研究
利用激光产生等离子体的极紫外光源的开发研究
基本信息
- 批准号:04J06558
- 负责人:
- 金额:$ 1.22万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2004
- 资助国家:日本
- 起止时间:2004 至 2005
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究で逸早く有用性を示し、昨年度の実験で詳細な極端紫外(EUV)発光特性を評価したCO_2レーザー生成Snプラズマは、現在ではレーザー生成プラズマ(LPP)方式における最も有望な方式として認知されるに至った。そこで本年度は、今後重要性が増していく集光光学系の超寿命化に関する研究を行った。集光光学系の反射率低下の主たる原因は、プラズマから飛散する微粒子(デブリ)によるミラーの汚損である。特に、電磁界による対策が困難な中性のデブリは問題視されており、その挙動を知ることはデブリ対策を考える上で大変重要である。そこで、本研究ではLPPから飛散する中性原子の挙動を可視化計測するために、レーザー誘起蛍光(LIF)法を用いた画像計測装置を作製した。以下に得られた結果をまとめる。(1)Sn平板をターゲットとするNd:YAG-LPPから飛散するSn原子の挙動を、2次元画像的に時間分解して観測することに成功した。(2)Nd:YAGレーザーを強度5×10^<10>W/cm^2でSn平板に照射した場合のLIF画像を解析したところ、200eVを超える運動エネルギーを有するSn原子の飛散を確認した。(3)40eVを超えるような高速Sn原子はNd:YAGレーザー強度を高くするに従って増加したが、低速のSn原子は5×10^<10>W/cm^2以上の照射強度でも分布に大きな違いは見られなかった。(4)集光ミラーを模擬した基板を計測領域に設置し、デブリとミラー基板との相互作用を計測した。この計測では、40eV以下の低速Sn原子がミラー基板上に堆積する様子が観測された。また、基板上に堆積したSnが4keV以上の高速イオンによってスパッタされる様子も観測した。(5)ファラデーカップによるイオンの計測や、水晶振動子微小天秤(QCM)センサーによる堆積量の計測なども行い、LIF画像計測と相補的なデータを取得した。
This study shows the usefulness of the early stage and the detailed evaluation of the extreme ultraviolet (EUV) emission characteristics of CO_2 in the past year. This year, the importance of the research on the extension of the life of the light collecting optical system will increase. The main reasons for the low reflectivity of the light collection optical system are: scattering of fine particles, contamination of particles, etc. Special, electromagnetic field, the problem of the policy is difficult, neutral, dynamic, knowledge, and important. In this study, the LPP method was used to measure the movement of neutral atoms visually. The following is a summary of the results. (1)Sn Nd:YAG-LPP is the best way to measure the dispersion of Sn atoms. (2)Nd The LIF image was analyzed when the YAG radiation intensity was 5×10^<10>W/cm^2, and the Sn atom scattering was confirmed when the Sn radiation intensity was 200eV. (3) The intensity of Nd:YAG radiation at 40eV and higher for high speed Sn atoms increases, while the intensity of Nd: YAG radiation at 5×10^<10>W/cm^2 and higher for low speed Sn atoms increases. (4)The light collector is set up to measure the interaction between the substrate and the substrate. This measurement was carried out to detect the accumulation of low-speed Sn atoms below 40eV on the substrate. High speed, high speed, high (5)The measurement of the amount of accumulation in the crystal oscillator microscale (QCM) is carried out in the LIF image measurement and the complementary measurement is obtained.
项目成果
期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Direct comparison of the emission characteristics of an extreme ultraviolet light between the CO_2 and the Nd:YAG laser-produced plasmas with a solid tin target
CO_2 和 Nd:YAG 激光产生的等离子体与固体锡靶极紫外光发射特性的直接比较
- DOI:
- 发表时间:2005
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nonami A;Taketomi T;Kimura A;Saeki K;Takaki H;et al.;Hiroki Tanaka
- 通讯作者:Hiroki Tanaka
Development of EUV light source by CO_2-laser-produced Xe plasma
CO_2激光产生Xe等离子体EUV光源的开发
- DOI:
- 发表时间:2004
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nonami A;Taketomi T;Kimura A;Saeki K;Takaki H;et al.;Hiroki Tanaka;Hiroki Tanaka et al.
- 通讯作者:Hiroki Tanaka et al.
Development of visualization system of neutral particles generated from laser-produced plasma for EUV light source
开发用于 EUV 光源的激光等离子体产生的中性粒子可视化系统
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Nonami A;Taketomi T;Kimura A;Saeki K;Takaki H;et al.;Hiroki Tanaka;Hiroki Tanaka et al.;Hiroki Tanaka
- 通讯作者:Hiroki Tanaka
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- 批准号:
21J10022 - 财政年份:2021
- 资助金额:
$ 1.22万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows