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光波長域3次元フォトニック結晶導波路の研究

光波长范围内三维光子晶体波导研究

基本信息

批准号：
16710098
负责人：
今田昌宏
金额：
$ 1.98万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2006
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16710098/
关键词：
フォトニック結晶光導波路ウエハ融着光回路精密位置合わせ

项目摘要

本年度は、新しい3次元フォトニック結晶導波路構造の設計を行い、従来よりも優れた特性をもつ構造を見出すともに、昨年度実現した高精度ウエハ位置合わせ技術を用いて、点欠陥を積層した垂直型導波路構造の試作を行い、導波路モードを反映した透過スペクトルを得ることに成功した。詳細は以下の通り。(1)従来、3次元フォトニック結晶導波路においては、誘電体を一部除去した空気欠陥型導波路と、誘電体を新たに付加した誘電体型導波路構造が知られていた。今年度は、さらに進んだ構造として、誘電体の除去と付加を同時に施した複合型欠陥導波路の理論解析を行った。その結果、除去・付加する誘電体の量を適切に設計することによって、従来よりも広いシングルモード伝搬帯域、完全フォトニックバンドギャップ領域のほぼ全域を利用することが出来る空気導波路構造を設計することに成功した。(2)さらに上記導波路構造に対してさらなる誘電体を付加した場合の導波路モードについて検討を行った結果、付加する誘電体の量を適切に設計することで、導波路モードがシフトし、広いシングルモード帯域を有する誘電体導波路構造を見出すことが出来た。これらの空気導波路・誘電体導波路はいずれも同程度のモードフィールドを有していることから、この2種類の導波路を接続した場合でも高い光結合が得られると期待される。(3)昨年度実現した、100nmという高い精度をもつウエハ位置合わせ技術を用いて、各層に形成した点欠陥を垂直に積層した、垂直型導波路構造の試作を行った。この構造の透過スペクトルを測定した結果、垂直導波路近傍で特徴的な透過率の変化が見られ、理論解析結果とも良く対応することを見出すことが出来た。これは、将来3次元フォトニック結晶に垂直方向から光を入出力する際に有効な手法になると期待される。

This year, the new three-dimensional crystal waveguide structure design has been carried out, and the excellent characteristics of the crystal waveguide structure have been discovered. Last year, the high-precision position combination technology has been realized, and the vertical waveguide structure has been tested and reflected. Details are given below. (1)A new type of waveguide structure is proposed, which is based on the structure of a three-dimensional crystal waveguide. This year, the structure of the waveguide is improved, and the dielectric is removed. The theoretical analysis of the composite waveguide is also carried out. As a result, the design of the waveguide structure was successful in removing the appropriate amount of dielectric material from the waveguide. (2)In addition, it is noted that the waveguide structure is suitable for the application of the inductor. The waveguide structure is designed according to the results of the investigation and the appropriate amount of inductor. In this case, the optical waveguide and the dielectric waveguide have the same degree of connection. In this case, the optical waveguide has the same degree of connection. (3)In the past year, the high precision of 100nm was achieved. The position combination technology was used. The vertical waveguide structure was tested. The results of the measurement of the structure and the characteristics of the transmission near the vertical waveguide are presented. The results of the theoretical analysis are presented. In the future, there will be three dimensional crystals in the vertical direction, light input and output, and there will be a method to expect it.