Diffraktive Optiken für die Lasermaterialbearbeitung

用于激光材料加工的衍射光学

• 批准号: 5347360
• 负责人: Professor Dr. Theo Tschudi
• 金额: --
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5347360?language=en
• 关键词: Diffraktive; Optiken; die; Lasermaterialbearbeitung

Ziel des Projektes ist die Entwicklung eines Strahlformungskonzeptes auf Basis diffraktiver optischer Elemente unter möglichst vollständiger Einbeziehung der Eigenschaften des zu bearbeitenden Materials (insb. Wärmeleitung) und des Lasers (partielle Kohärenz). Beim Gravieren, Härten, Schneiden und Schweißen ist eine gute Kenntnis der im Material erzeugten Temperaturvertellung erforderlich, wobei insbesondere bei den beiden ersten Anwendungen die exakt gleichmäßige Erwärmung des Bearbeitungsfeldes von größter Wichtigkeit ist. Noch deutlicher als bei der lithographischen Bearbeitung äußert sich das bestehende Problem beim Gravieren und Abtragen von Material mittels Maskenprojektion. Hier führen Strahlinhomogenitäten und Interferenzerscheinungen, insbesondere an Ecken und Kanten, zu nicht tolerierbaren Formveränderungen. Zur Herstellung präziser und scharfkantiger Strukturen soll die Intensitätsverteilung des Bearbeitungslasers in eine angepaßte Verteilung zur Erzeugung geometrischer Strukturen wie Linien, Rechtecken oder Kreisen übergeführt werden. Diese Verteilung soll allen relevanten Eigenschaften des bearbeiteten Materials Rechnung tragen und insbesondere dessen Wärmeleitungseigenschaften berücksichtigen. Diese erforderliche Einhaltung der Intensitätsumordnung soll mit Hilfe diffraktiver optischer Elemente erfolgen, welche im Projekt berechnet werden. Da bisher bekannte Berechnungsverfahren unbefriedigende Lösungen liefern, soll ein neues Berechnungsverfahren zum Einsatz kommen, das die benötigte Umordnung unter Einbeziehung und Ausnutzung der partiellen Kohärenz des Bearbeitungslasers ermöglicht. Das Berechnungsverfahren liefert, im Gegensatz zu den bisher bekannten Verfahren, Elemente ohne Phasensprünge, die mit heute zur Verfügung stehenden Methoden herstellbar sind. Berechnete D0Es sollen für Transmission und Reflexion hergestellt werden, sowie in Verbindung mit einigen Bearbeitungsmaterialien untersucht werden.

Ziel des Projektes ist die Entwicklung eines Strahlformungskonzeptes auf Basis diffraktiver optischer Elemente unter möglichst vollständiger Einbeziehung der Eigenschaften des zu bearbeitenden Materials (insb. Wärmeleitung) und des Lasers (partielle Kohärenz). Beim Gravieren，Härten，Schneiden undSchweißenist eine gute kenntnis der im材料Erzeugten deperturvertellung erforderlich，wobei insbei insbei bei bei den beiden beiden beiden beiden exaktgeleichmäßigeErwäßigeErwäßigeErwäundemungebebebebebebebekefeceuckefeceuckefuncefuckefuncefuncectectecte NOCH DEUTLICHER ALS BEI DERSTOMCHEN BEARBEITUNGUNGENUNGÄUßERTSICH DAS BESTEHENDE问题Beim Gravieren和Abtragen von von Maters Mittels Maskenprojektion。 HierFührenStrahlinhomogenitäten和Interferenzerscheinungen，insbesondere a ecken und Kanten，Zu Nicht bearbeitungs是世界上最好的。 Bearbeitungslasers是世界上最好的，而Bearbeitungslasers是世界上最好的，而Bearbeitungslasers是世界上最好的。所有的Bearbeitungs都是世界上最好的，所有材料都释放到Bearbeitungschers。 Berücksichtigen。 diese erforderliche einhaltung derintensitätsumordnungsoll soll mit hilfe diffraktiver optischer elemente erfolgen，welche im projekt berechnet werden。 Da bisher bekannte Berechnungsverfahren unbefriedigende Lösungen liefern, soll ein neues Berechnungsverfahren zum Einsatz kommen, das die benötigte Umordnung unter Einbeziehung und Ausnutzung der partiellen Kohärenz des Bearbeitungslasers. Bearbeitungslasers。 Bearbeitungslasers出生于该地区，Bearbeitungsprünge在该地区拥有强大的存在。 Bearbeitungslasers出生于该地区，Bearbeitungslasers出生于该地区。 Bearbeitungslasers出生于该地区，Bearbeitungslasers出生于该地区。 Bearbeitungslasers出生于该地区，Bearbeitungslasers出生于该地区。