Ultra-precise Wash about Electron and Electric Material Using Electrolyzed Water

利用电解水对电子电气材料进行超精密清洗

• 批准号: 17560630
• 负责人: SATO Unkai
• 金额: $ 2.43万
• 依托单位: Shinshu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17560630/
• 关键词: シリコンウエハ; 配線パターン; 超精密洗浄; 金属イオン残渣除去; CMP; 酸化皮膜除去; 電解水; 環境負荷軽減; 電解還元水; 電解酸化水; 銅合金; リードフレーム; Fe-42wt%Ni alloy; 表面脱脂洗浄; 溶存酸素; シリコンウエハー洗浄; 半導体デバイス洗浄; Polycrystalline silicon; 無酸素銅材のエッチング; 平滑化加工; シリコンウエハー研磨; アンモニウム系; ニッケル材・無酸素銅材; エッチング加工 /

本研究は, 環境および人体に悪影響を与えない希薄電解質塩溶液の電解水を電子・電気材料の表面洗浄に応用することを目的としている. まず, 電解還元水のシリコン材表面に与えている影響, シリコンウエハの超精密洗浄および研磨における基本特性を解明した. つぎに, 電解酸化水のCu, Ni, Alおよびその合金の表面に及ぼす影響, これらの純金属の表面に対するエッチング, 酸化皮膜除去などについて検討した. 本研究によって, 電解水は, 充分に電子・電気材料の表面洗浄に応用できることを明らかにした.

This study aims to investigate the influence of environment on human body and the application of electrolyte solution to the surface cleaning of electron and electron materials. The basic characteristics of electrolytic reduction water for ultra-precision cleaning and grinding are explained. In addition, the surface of Cu, Ni, Al and other alloys in electrolyzed acidified water is affected by the corrosion. The surface of these pure metals is extremely complex, and the removal of the acidified film is difficult. In this study, electrolyzed water is used to fully clean the surface of electronic and electrical materials.

项目成果

Fe-42wt%Ni合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響

稀NaCl电解水对Fe-42wt%Ni合金表面的影响

• 发表时间: 2008
• 期刊: 精密工学会誌 74巻8号
• 作者: 佐藤運海;竹ノ内敏一;若林信一
• 通讯作者: 若林信一

リードフレーム用銅合金の表面に及ぼす希薄NaC1電解酸化水の影響

稀NaC1电解氧化水对引线框架用铜合金表面的影响

• 发表时间: 2008
• 作者: 佐藤運海;竹ノ内敏一;南正良
• 通讯作者: 南正良

シリコンウエハーの表面に及ぼすKCI電解還元水のエッチング作用

KCI电解还原水对硅片表面的刻蚀效果

• 发表时间: 2007
• 作者: 酒井祥博;石澤昌史;佐藤運海
• 通讯作者: 佐藤運海

(超)精密洗浄と清浄度評価

（超）精密清洗及清洁度评价

• 发表时间: 2005
• 作者: 佐藤運海;他19名
• 通讯作者: 他19名

希薄NaC1電解水の特性およびその経時変化

稀NaC1电解水的特性及其随时间的变化

• 发表时间: 2007
• 作者: 藤澤樹;宮尾典愛;佐藤運海
• 通讯作者: 佐藤運海