Ultra-precise Wash about Electron and Electric Material Using Electrolyzed Water
Ultra-precise Wash about Electron and Electric Material Using Electrolyzed Water
利用电解水对电子电气材料进行超精密清洗
批准号：
17560630
负责人：
SATO Unkai
金额：
$2.43万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2005
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2005 至 2008
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
本研究は, 環境および人体に悪影響を与えない希薄電解質塩溶液の電解水を電子・電気材料の表面洗浄に応用することを目的としている. まず, 電解還元水のシリコン材表面に与えている影響, シリコンウエハの超精密洗浄および研磨における基本特性を解明した. つぎに, 電解酸化水のCu, Ni, Alおよびその合金の表面に及ぼす影響, これらの純金属の表面に対するエッチング, 酸化皮膜除去などについて検討した. 本研究によって, 電解水は, 充分に電子・電気材料の表面洗浄に応用できることを明らかにした.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
Fe-42wt%Ni合金の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響
稀NaCl电解水对Fe-42wt%Ni合金表面的影响
稀NaCl电解水对Fe-42wt%Ni合金表面的影响
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
精密工学会誌 74巻8号
影响因子：
--
作者：
[佐藤運海, 竹ノ内敏一, 若林信一]
通讯作者：
若林信一
リードフレーム用銅合金の表面に及ぼす希薄NaC1電解酸化水の影響
稀NaC1电解氧化水对引线框架用铜合金表面的影响
稀NaC1电解氧化水对引线框架用铜合金表面的影响
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[佐藤運海, 竹ノ内敏一, 南正良]
通讯作者：
南正良
シリコンウエハーの表面に及ぼすKCI電解還元水のエッチング作用
KCI电解还原水对硅片表面的刻蚀效果
KCI电解还原水对硅片表面的刻蚀效果
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[酒井祥博, 石澤昌史, 佐藤運海]
通讯作者：
佐藤運海
(超)精密洗浄と清浄度評価
（超）精密清洗及清洁度评价
（超）精密清洗及清洁度评价
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
作者：
[佐藤運海, 他19名]
通讯作者：
他19名
希薄NaC1電解水の特性およびその経時変化
稀NaC1电解水的特性及其随时间的变化
稀NaC1电解水的特性及其随时间的变化
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[藤澤樹, 宮尾典愛, 佐藤運海]
通讯作者：
佐藤運海
共 33 条
Oxidation layer Removal of Metal Surface which Used Electrolyzed Oxidizing Water
-
批准号：22560717
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额：$2.91万
-
财政年份：2010
-
负责人：SATO Unkai
-
依托单位：
海外基金