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カーボンナノ構造体創成プラズマ中の分子状、原子状ラジカルの挙動解明

碳纳米结构的创建阐明等离子体中分子和原子自由基的行为

基本信息

批准号：
17760054
负责人：
高島成剛
金额：
$ 1.98万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2005
资助国家：
日本
起止时间：
2005 至 2006
项目状态：
已结题

项目摘要

カーボンナノ構造体創成プラズマ中のラジカルの挙動解明を行い、下記の成果を得た。1.カーボンナノウォール創成プラズマ中の水素ラジカルおよび炭素ラジカル計測のための真空紫外吸収分光システムを構築した。2.カーボンナノ創成プラズマにおける水素ラジカルおよび炭素ラジカルの絶対密度計測を行った。圧力13.3Paから79.8Paの範囲で、炭素ラジカル絶対密度は4.0×10^<12>[cm^<-3>]で一定であり、圧力変化により変化はなかった。3.水素ラジカル絶対密度は、圧力13.3Paから39.9Paまで1.6×10^<12>[cm^<-3>]で一定であり、圧力53.2Paから79.8Paの範囲で増加し、圧力79.8Paで2.5×10^<14>[cm^<-3>]であった。4.水素ラジカル、炭素ラジカル絶対密度計測条件においてカーボンナノウォールの合成実験を行った。圧力範囲13.3Paから79.8Paにおいてカーボンナノウォールを合成することができた。しかし、ウォールの間隔に差異があり、13.3Paから79.8Paの圧力増加に伴い、ウォールの間隔は広くなった。5.カーボンナノウォールの成長速度は、圧力の増加に伴い減少した。6.圧力範囲13.3Paから79.8Paにおける水素ラジカル、炭素ラジカル絶対密度計測結果と合成されたカーボンナノウォールのウォール間隔及び成長速度より、水素ラジカルは、カーボンナノウォール最表面のF元素を引き抜く(エッチング)効果があり、カーボンナノウォール合成および形状制御に重要な役割を担っていることが明らかになった。

The structure is created in the middle of the structure, and the results are recorded below. 1. Construction of vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system for the measurement of water and carbon in the production process. 2. The density measurement of carbon dioxide and carbon dioxide is carried out. Pressure 13.3Pa to 79.8Pa range, carbon density to 4.0×10^<12>[cm^<-3>] to a certain extent, pressure change to change. 3. The density and pressure of water element are 13.3Pa to 39.9Pa to 1.6×10^<12>[cm^<-3>], constant, 53.2Pa to 79.8Pa to 2.5×10^<14>[cm^<-3>], increasing. 4. The synthesis of water element and carbon element is carried out under the absolute density measurement conditions. Pressure range: 13.3Pa to 79.8Pa The difference between the pressure of 13.3Pa and 79.8Pa is accompanied by the difference between the pressure of 13.3Pa and 79.8Pa. 5. The growth rate of the oil and gas industry decreases with the increase of pressure. 6. Pressure range 13.3Pa to 79.8Pa water element, carbon element, density measurement results and synthesis of water element, carbon element, carbon