シングルマスター・マルチスレーブ人間・ロボット協調遠隔微細作業に関する研究

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現在、カーボンナノチューブ(CNT)、ナノワイヤー(NW)、ナノベルト(NB)などの極微細ナノ構造物を用いた先端デバイス分野は近未来多くのシステムの小型化、省エネに貢献できると思われる。これらのナノ構造物の特性はマイクロ・ナノマニピュレーションにより解明しつつありながらも、pN〜nNスケールのカセンシング可能なデバイスは未だに開発されていないのが現状である。本研究では3次元ヘリカールナノベルト(HNB)を用いた高精度・広範囲力センサーの開発することに成功した。ナノマニピュレーションによるHNBのピエゾ抵抗を解明することに成功し、その特性を用いたカセンシングを行った。メタル電極付きHNBを提案することにより接続抵抗やアセンブリ性を改善した。平成18年度には電子顕微鏡でのナノマニピュレーションシステムの構築、改善からそれを用い、3次元InGaAs/GaAs ナノベルトのマニピュレーション、そのピエゾ特性分析に成功した。また、Au ナノインクを用いた接続導電性改善などはナノアセンブリの新たな領域としての貢献がある。それらの成果を用い、平成19年度には分析したピエゾ特性を用いたナノスケールセンサーの開発に成功した。本課題の成果として本分野で権威の高い論文誌(6件)、国際会議(8件)、多数の国内会議などに論文を投稿するなど、実りある成果を得ることができた。また、これらの準備過程でより深く同分野の研究者らと議論することができ、今後の新たなブレークスルーとなると考えている。