Production of Hybrid Plasma Based on Shunting Arc Discharge and its Application for Surface Treatments

基于分流电弧放电的混合等离子体的制备及其在表面处理中的应用

• 批准号: 18340181
• 负责人: TAKAKI Koichi
• 金额: $ 8.86万
• 依托单位: Iwate University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18340181/
• 关键词: プラズマ応用; プラズマ; シャンティングアーク; DLC; PBII; アーク放電; 成膜; 複合プラズマ; イオン注入; カーボン

金属線やロッドに電流を流すとジュール加熱で, 材料表面から電子放出や材料の気化が起き, 材料近傍の絶縁耐圧が低下し, 放電へと至る. 本研究では, この放電プラズマの高密度化, 大体積化, 複合化を目的に, 磁気駆動, ロッドの長大化および並列駆動, 雰囲気ガスや, 電極およびロッド材の組合せによる, 複合プラズマの生成を行った. 窒素中で炭素シャンティングアーク放電を生成し, 窒素と炭素の複合プラズマの生成に成功した. このプラズマを用いて成膜を行ったところ, N/C比率は窒素気圧2Pa, ターゲット電圧-2kVで0.58となった. またチタン電極と炭素ロッドの組合せで, Ti含有のDLC膜が堆積できた.

The metal wire is heated by electric current, the surface of the material is emitted by electrons, and the material is transformed. The purpose of this research is to increase the density, increase the volume, and compound the discharge density, to create a magnetic field, to move the magnetic field in parallel, to increase the density, and to increase the size of the system. Electrode およびロッド Material の combination せによる, composite プラズマの generate を row った. Asphyxiated elements in the carbon シャンティングアーク discharge を generate し, The composite material of sulfide and carbon is successfully produced.ターゲットelectric pressure-2kVで0.58となった. またチタンelectrode and carbon ロッドの combinationせで, Ti-containing DLC film depositionできた.

项目成果

ブルームライン型パルス電源の特性と汚水浄化への応用

Blumlein型脉冲电源的特点及其在污水净化中的应用

• 发表时间: 2008
• 期刊: プラズマ応用科学 16
• 作者: 滝沢倫顕;村上章;西村伸一;高橋克幸
• 通讯作者: 高橋克幸

Hybrid Plasma GenerationTriggered by a Shunting Arc Discharge Using a Positively Biased Electrode

使用正偏压电极通过分流电弧放电触发混合等离子体生成

• 发表时间: 2007
• 期刊: IEEE Trans. Plasma Sci 35
• 作者: K. Yukimura;T. Imai;K. Takaki;T. Ikehata
• 通讯作者: T. Ikehata

Ion extraction from magnetically driven carbon shunting arc plasma

从磁驱动碳分流电弧等离子体中提取离子

• 发表时间: 2006
• 期刊: IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 34 (4)
• 作者: Takaki K;Kumagai O;Mukaigawa S;Fujiwara T;et al.
• 通讯作者: et al.

Induction of Long Gap Discharge by Water Jet

水射流诱导长间隙放电

• 发表时间: 2008
• 期刊: IEEE Transactions on Plasma Science 36
• 作者: M. Tabe;Z. A. Burhanudin;R. Nuryadi;D. Moraru;M. Ligowski;R. Jablonskiand T. Mizuno;Harumi Kobayashi;Koichi Takaki
• 通讯作者: Koichi Takaki

Industrial Applications of Pulsed Power Technology

• DOI: 10.1109/tdei.2007.4339465
• 发表时间: 2007-10
• 期刊: IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation
• 影响因子: 3.1
• 作者: Hidenori Akiyama;T. Sakugawa;T. Namihira;Koichi Takaki;Yasushi Minamitani;N. Shimomura