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Production of Hybrid Plasma Based on Shunting Arc Discharge and its Application for Surface Treatments

Production of Hybrid Plasma Based on Shunting Arc Discharge and its Application for Surface Treatments
基于分流电弧放电的混合等离子体的制备及其在表面处理中的应用
批准号：
18340181
负责人：
TAKAKI Koichi
金额：
$8.86万
依托单位：
Iwate University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18340181/
关键词：
プラズマ応用プラズマシャンティングアークDLCPBIIアーク放電成膜複合プラズマイオン注入カーボン

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金属線やロッドに電流を流すとジュール加熱で, 材料表面から電子放出や材料の気化が起き, 材料近傍の絶縁耐圧が低下し, 放電へと至る. 本研究では, この放電プラズマの高密度化, 大体積化, 複合化を目的に, 磁気駆動, ロッドの長大化および並列駆動, 雰囲気ガスや, 電極およびロッド材の組合せによる, 複合プラズマの生成を行った. 窒素中で炭素シャンティングアーク放電を生成し, 窒素と炭素の複合プラズマの生成に成功した. このプラズマを用いて成膜を行ったところ, N/C比率は窒素気圧2Pa, ターゲット電圧-2kVで0.58となった. またチタン電極と炭素ロッドの組合せで, Ti含有のDLC膜が堆積できた.
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会议论文
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DOI： --
发表时间： 2008
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DOI： --
发表时间： 2008
期刊： IEEE Transactions on Plasma Science 36
影响因子： --
作者： [M. Tabe, Z. A. Burhanudin, R. Nuryadi, D. Moraru, M. Ligowski, R. Jablonskiand T. Mizuno, Harumi Kobayashi, Koichi Takaki]
通讯作者： Koichi Takaki
共 35 条
    Production of high-density plasma using pulsed glow discharge and its applications for surface treatment
    • 批准号：
      24540530
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      TAKAKI Koichi
    • 依托单位：
      Iwate University
    海外基金