Development of a compact vacuum ultraviolet laser using a hollow fiber for plasma regulation and applications to photo-materials processing

开发使用中空光纤进行等离子体调节的紧凑型真空紫外激光器及其在光材料加工中的应用

• 批准号: 18360040
• 负责人: KUBODERA Shoichi
• 金额: $ 5.9万
• 依托单位: University of Miyazaki
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360040/
• 关键词: 真空紫外光; 希ガスエキシマ; 光電界電離; 中空ファイバー; 超短パルス高強度レーザー; 光物質プロセス; 真空紫外; 卓上型レーザー; 高強度レーザー; 光プロセス; 短波長光源技術

アルゴンで充たされた中空ファイバー内に高強度レーザー励起の光電界電離プラズマを生成し, 波長126nmの真空紫外アルゴンエキシマ増幅を行い, その特性を評価した. また希ガスを非線形媒質として超短パルス赤外光の第7高調波(波長126nm)の最適化を行った. 一台の励起用超短パルス高強度レーザーを用いて, アルゴンプラズマ増幅器と第7高調波を発生する増幅システムを構成し, 第7高調波出力の増幅を観測した. これらと並行して各種真空紫外光エネルギーに対する物質の脱離, 解離, 分解等の基礎過程を明らかにした.

High intensity photoionization excitation in the vacuum ultraviolet region at 126nm was generated and its characteristics were evaluated. The optimization of the seventh high-wavelength (wavelength 126nm) of ultra-short infrared light in non-linear media. The amplitude of the 7th high-amplitude generator is measured by using the ultra-short high-intensity generator. The basic processes of separation, dissociation and decomposition of substances in various vacuum ultraviolet light production processes are clearly described.

项目成果

OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation

用于产生高强度 VUV 脉冲的 OFI 稀有气体准分子放大器

• 发表时间: 2009
• 期刊: Proc. SPIE vol.7196
• 作者: M. Katto;M. Kaku;K. Oda;T. Kamikihara;A. Yokotani;S. Kubodera;N. Miyanaga;and K. Mima
• 通讯作者: and K. Mima

OFI rare-gas excimer amplifier for intense sub-picosecond VUV pulse generation

OFI 稀有气体准分子放大器，用于产生强亚皮秒 VUV 脉冲

• 发表时间: 2008
• 作者: Masanori Kaku;et al.
• 通讯作者: et al.

光電界電離を用いた真空紫外アルゴンエキシマ増幅器に関する研究

光场电离真空紫外氩准分子放大器的研究

• 发表时间: 2007
• 作者: 原野慎也;ら
• 通讯作者: ら

OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation

OFI 氩准分子放大器，用于产生强亚皮秒 VUV 脉冲

• 发表时间: 2009
• 期刊: Proceedings of SPIE Vol.7131
• 作者: Masanori Kaku;Shoichi Kubodera;Kazuyoshi Oda;Masahito Katto;Atsushi Yokotani;Noriaki Miyanaga;Kunioki Mima
• 通讯作者: Kunioki Mima

Effect of laser fluence on poly-crystallization of hydroxyapatite film coated by PLD method

激光注量对PLD法沉积羟基磷灰石薄膜多晶化的影响

• 发表时间: 2007
• 期刊: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 2
• 作者: Masahito Katto;et. al.
• 通讯作者: et. al.