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コヒーレントX線回折顕微鏡のナノ空間分解能とその場観察実現のための解析手法の開発

纳米空间分辨率相干X射线衍射显微镜及原位观察分析方法的研制

基本信息

批准号：
18760499
负责人：
高橋幸生
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Osaka University (2007)The Institute of Physical and Chemical Research (2006)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18760499/
关键词：
X線顕微鏡コヒーレント散乱位相回復

项目摘要

コヒーレントX線回折顕微鏡(CXDM)が新しいX線顕微法として注目を集めている。原理的にCXDMは入射X線の波長程度の空間分解能を持った実像を再構成可能であるが、実際には入射X線の強度およぴX線検出器の性能に問題があり、その100分の1程度の空間分解能しか実現できていない。この問題を解決する一つの方法が超解像法などの数値解析的な手法を使って、測定された実験データから測定できない実験データを推定し、結果として再構成像の分解能を向上させることである。本研究では、CXDMのための超解像アルゴリズムを開発し、CXDMによる金属材料のその場観察測定実現を目指している。本年度は、昨年度開発した超解像アルゴリズムを実際の実験データに適用してその有効性を評価することを試みた。昨年度、アルミニウム合金および錫亜鉛共晶合金粒子のコヒーレントX線回折測定を行ったが、それらに超解像アルゴリズムを適用するより、既知の構造を持ったテストパターンに適用する方がより厳密にアルゴリズムの有効性を評価できると考え、大阪大学の設備を用いてテストパターンの作製を行った。Si_3N_4膜上に200nm厚さのC_uを蒸着して、収束イオシビーム加工により1μm程度のサイズのテメトパターンを作製した。それを第三世代放射光施設Spring-8に持ち込み、理化学研究所専用のビームラインBL29XULにて入射X線エネルギー5keVでコヒーレントX線回折パターン測定を行った。テストパターンの構造を反映した良質な回折パターンデータの取得に成功し、現在、像再生および超解像アルゴリズムの有効性の評価を行っている。

On the basis of the X-ray micro-analysis (CXDM), the new micro-method is required to focus on the focus of attention. The principle of the CXDM incident X-ray wavelength degree space decomposition can maintain the image reconstruction of the image, the incident X-ray intensity and the output performance of the X-ray generator can be improved by the space decomposition of the incident X-ray wavelength degree of 100 minutes to 1 degree. To solve the problem, to solve the problem. In this study, the results of the CXDM experiment show that the performance of the metal materials market has been detected and measured in the field of CXDM. This year and last year, we started this year and last year. This is the same as the last year. This year and last year, we started this year and last year. Last year, the eutectic alloy particles in the eutectic alloy were tested by X-ray back-analysis, and the ultra-resolution of the eutectic alloy particles was measured by X-ray back-analysis. The equipment of Osaka University uses the equipment of Osaka University to use the equipment of Osaka University. The thickness of 200nm and C _ u on the Si_3N_4 film are steamed, and the bundles are processed to the extent of 1 μ m. The third-generation radioluminescence Spring-8 equipment is used in the third-generation radioluminescence equipment, and the Institute of Science and Chemistry uses the X-ray beam to determine the performance of the X-ray beam. The Institute of Science and Chemistry uses the X-ray to refold the X-ray to determine the performance of the BL29XUL. This is a good reflection of the success, the present, the image, the super-resolution, the sex, the success, the success.