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酸化亜鉛ドットアレイの作製とその評価

氧化锌点阵的制作及其评价

基本信息

批准号：
18760501
负责人：
瀬川浩代
金额：
$ 2.37万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

近年、紫外域及び可視域に発光を有する酸化亜鉛は高効率青色ダイオードや緑色の蛍光を利用した表示素子としての応用などが期待されている。特に、波長程度の微小な発光素子が作られた場合には三次元的に光を閉じこめることが可能になる。本研究では、フォトリソグラフィーによってピラー状周期構造体を作製し、毛細管現象によってピラー頂部が寄り集まった錐形周期構造体を作製し、それを鋳型とすることによって二次元周期配列した酸化亜鉛ドットアレイの作製を進めてきた。この錐形周期構造体に市販の酸化亜鉛を分散した溶液を滴下し、自然乾燥したところ。溶液中の粒子は乾燥過程において対流を起こし、溶媒が乾燥する際に、ピラー下部の空隙の毛管力によってその空隙に集められた。基板表面に残存する粒子もあったが、発光体アレイとして有用であることが確認ざれた。さらなる粒子集積状態の改善のために、粒子サイズの揃ったシリカ粒子を用いて集積過程の検討を行った。粒子の集積過程を詳細に観察することによって、溶媒乾燥過程に伴う粒子の移動と粒子間に働く毛管力によって粒子が錐形構造体にモールドされることを明らかにした。モールドのされ方は溶媒の種類の影響をうけ、観察結果を考慮すると、溶媒の蒸発速度及び表面張力が大きく影響するものと考えられた。この結果より、酸化亜鉛の場合において、粒子を懸濁する溶媒の種類を変化させることによってより効率よくモールドされることが示唆された。

In recent years, purple outland and び horizon に発 light を have する acidification 亜 lead は high working rate cyan ダイオードや green の蛍を light using した said element child としての応 with などが expect されている. のに, wavelength, degree of tiny な発が son optical element られた occasions には three-d に light を closed じこめることが may になる. This study では, フォトリソグラフィーによってピラーし the cycle construct を cropping, capillary phenomenon によってピラー top が send り set まった cone cycle constructs を as し, それを type where とすることによって secondary yuan cycle with column した acidification 亜 lead ドットアレイを into the の cropping めてきた. <s:1> conical periodic structure に commercially available <s:1> acidified 亜 lead を dispersed <s:1> た solution を dropped <s:1> naturally dried <e:1> たとろろろのは dry particles in the solution process において flow seaborne を up こし, dry solvent がする interstate に, ピラーの capillary force lower の gap によってそにの gap set められた. Substrate surface に residual する particle もあったが, 発 light body アレイとして useful であることが confirm ざれた. さらなる particle collection status asthmaticus の improve のために, particle サイズの Jian ったシリをカ particles with いて set product process の検 line for をった. Particle の set product process detailed にを観 examine することによって and solvent drying process にう particles move のと between particles に働く capillary force によって particle が conical constructs にモールドされることを Ming らかにした. モールドのされ party は kinds of solvent ののをうけ and examines 観 results を consider すると, solvent の steaming 発 velocity and surface tension がびきく influence するものと exam えられた. この results より, acidification 亜 lead のにおいて, particle を clouding する types of solvent のを variations change させることによってより sharper rate よくモールドされることが in stopping された.