权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

局在プラズモン共鳴を用いた有機-無機ハイブリッド材料のナノパターニング

利用局域等离子体共振对有机-无机杂化材料进行纳米图案化

基本信息

批准号：
20043014
负责人：
瀬川浩代
金额：
$ 1.02万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20043014/
关键词：
プラズモンナノ加工チタニア二光子吸収

项目摘要

ナノメートルサイズの金属表面で誘起される局在表面プラズモンを利用することによって、二光子吸収が起こりレジストの微細パターンを形成することが可能であることが報告されている。しかしながら、加工性の乏しいセラミックスやガラスについてのパターニングに関しては報告がない。また、TiO_2と金の相互作用によって光電変換可能であることが報告されており、金属を用いたTiO_2ナノパターン形成は光電変換素子としての応用も期待される。本研究では有機-無機ハイブリッド材料を対象にして、プラズマ振動に起因する二光子吸収反応を利用したセラミックスのナノパターン形成を目的とした。光感応性の有機-TiO_2系ハイブリッド材料をゾルーゲル法によって作製し、100nm角の金のナノパターンが形成されている基板上に塗布した。この材料に対して、波長820nmのフェムト秒(fs)レーザー露光した後、アルコールで未反応部を除去した。金のパターンの周囲に作製されるナノ構造を吸収スペクトル測定及びSEM観察によって確認した。金のパターンはプラズマ振動に起因する吸収ピークを800nm近傍に有していた。膜を塗布し、露光・現像後にはわずかに吸収ピークがシフトすることが確認された。SEMによって詳細に確認したところ、金パターンの周囲に材料が残っていることが確認された。これらの結果は、金によるプラズマ振動に起因して、光感応性ハイブリッド材料が二光子吸収反応を起こし、光重合反応することによって、金表面近傍でナノサイズのパターニングが可能であることを表している。このパターンを焼結することによってチタニアのナノパターンを形成することができることが明らかになった。

The surface of the metal can be induced by two-photon absorption, and the formation of fine particles can be reported. In addition, the processing and processing requirements are not included in the report. The interaction between TiO_2 and gold may lead to the formation of photoelectric conversion elements. The purpose of this study is to study the formation of two-photon absorption in organic-inorganic hybrid materials Photosensitive organic-TiO_2-based materials are prepared by a single process, and gold particles with an angle of 100nm are formed on the substrate. The material is exposed to light at a wavelength of 820nm, and the reflection is removed. The structure of the metal plate was determined by absorption and SEM. The reason for this is that there is a large amount of absorption near 800nm. After coating, exposure, and imaging, the film is absorbed and confirmed. SEM analysis confirmed that the material was residual. As a result, the metal surface is close to the surface of the metal surface, and the metal surface is close to the surface. This is the first time I've ever seen a woman.